公开(公告)号：CN113514005A

公开(公告)日：2021-10-19

申请号：CN202110723478.7

申请日：2021-06-29

Applicant: 宁波大学

Inventor： 黄军 ,  崔玉国 ,  应荣辉 ,  汪家乐 ,  任志胜

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明公开了一种螺旋扫描式表面形貌测量的速度及加速度匹配方法，包括固定于y向直线运动平台上的x向直线运动平台，固定在x向直线运动平台上的θz向旋转平台,θz向旋转平台的上方悬设有z向直线运动平台，z向直线运动平台上设有激光位移传感器。y向直线运动平台固定在大理石平台上，z向直线运动平台固定在大理石立柱上。还公开了计算速度和加速度匹配的方法。本发明能使系统在径向和周向的采样间隔均应大小合适，从而使测量数据能够很好的反映被测微结构表面的形貌；只有在起始(结束)时x向直线平台和θz向旋转平台需要加速(减速)，其他时间x向直线平台和θz向旋转平台的速度能一直保持匀速，从而使测量速度大大提高。

公开(公告)号：CN113514004A

公开(公告)日：2021-10-19

申请号：CN202110723472.X

申请日：2021-06-29

Applicant: 宁波大学

Inventor： 黄军 ,  崔玉国 ,  汪家乐 ,  应荣辉 ,  任志胜

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明公开了一种螺旋扫描式表面形貌测量的等间隔采样方法，包括y向直线平台、x向直线平台、z向旋转平台、z向直线平台、激光差动共焦测头，还公开了应用此设备的第一至第六步骤。与现有技术相比，本发明的一种螺旋扫描式表面形貌测量的等间隔采样方法的优点是：1)通过等间隔采样方法，使螺旋线上采样点都分布均匀，每一圈螺旋线便无需那么多采样点，便可使采样点的数量大大减少，使采样数据大大减少，从而使采样数据占用计算机内存少；2)等间隔采样法在三位形貌成像结果都不失真的情况下，等间隔采样法采样点的数目比等时采样法采样点的数目要少，便可使计算机三维形貌成像时处理的数据要少，从而使三维形貌成像所花的时间要少。