公开(公告)号：CN111060232B

公开(公告)日：2021-09-03

申请号：CN201911104275.9

申请日：2019-11-13

Applicant: 宁波大学

Inventor： 崔玉国 ,  任志胜 ,  娄军强 ,  杨依领 ,  谢启芳 ,  应荣辉 ,  王博文

IPC: G01L1/16

Abstract: 本发明公开了一种压电执行器输出力的自感知方法，包括用于获得压电执行器晶片表面电荷的积分器，积分器包括运算放大器和积分电容，压电执行器输出力的自感知表达式为：式中，Fest为压电执行器的自感知力，C、uout分别为积分器的积分电容、输出电压，α为电荷‑位移系数，RP为压电执行器的绝缘电阻，u为施加在压电执行器上的驱动电压，QDA为压电执行器晶片的介电吸收电荷，iBIAS为运算放大器的偏置电流。本发明无需给积分器中的反馈电容并联电阻，就能消除压电执行器中晶片的漏电阻对自感知精度的影响；并且，补偿了压电执行器中晶片的介电吸收及构成积分器的运算放大器的偏置电流，能进一步提高压电执行器输出力的自感知精度。

公开(公告)号：CN110906852A

公开(公告)日：2020-03-24

申请号：CN201911104119.2

申请日：2019-11-13

Applicant: 宁波大学

Inventor： 崔玉国 ,  聂志刚 ,  马剑强 ,  杨依领 ,  王博文 ,  谢启芳 ,  应荣辉

IPC: G01B7/02 ,  G01D5/242

Abstract: 本发明公开了一种压电执行器输出位移的自感知方法，包括用于获得压电执行器晶片表面电荷的积分器，积分器包括运算放大器和积分电容，压电执行器输出位移δ的自感知表达式为：式中，δest为压电执行器的自感知位移，C、uout分别为积分器的积分电容、输出电压，α为电荷-位移系数，RP为压电执行器的绝缘电阻，u为施加在压电执行器上的驱动电压，QDA为压电执行器晶片的介电吸收电荷，iBIAS为运算放大器的偏置电流。本发明无需给积分器中的反馈电容并联电阻，就能消除压电执行器中晶片漏电阻对自感知精度的影响；并且，补偿了压电执行器中晶片的介电吸收及构成积分器的运算放大器的偏置电流，能进一步提高压电执行器输出位移的自感知精度。

公开(公告)号：CN110906852B

公开(公告)日：2021-07-27

申请号：CN201911104119.2

申请日：2019-11-13

Applicant: 宁波大学

Inventor： 崔玉国 ,  聂志刚 ,  马剑强 ,  杨依领 ,  王博文 ,  谢启芳 ,  应荣辉

IPC: G01B7/02 ,  G01D5/242

Abstract: 本发明公开了一种压电执行器输出位移的自感知方法，包括用于获得压电执行器晶片表面电荷的积分器，积分器包括运算放大器和积分电容，压电执行器输出位移δ的自感知表达式为：式中，δest为压电执行器的自感知位移，C、uout分别为积分器的积分电容、输出电压，α为电荷‑位移系数，RP为压电执行器的绝缘电阻，u为施加在压电执行器上的驱动电压，QDA为压电执行器晶片的介电吸收电荷，iBIAS为运算放大器的偏置电流。本发明无需给积分器中的反馈电容并联电阻，就能消除压电执行器中晶片漏电阻对自感知精度的影响；并且，补偿了压电执行器中晶片的介电吸收及构成积分器的运算放大器的偏置电流，能进一步提高压电执行器输出位移的自感知精度。

公开(公告)号：CN113880045A

公开(公告)日：2022-01-04

申请号：CN202111029592.6

申请日：2021-09-03

Applicant: 宁波大学

Inventor： 聂建成 ,  崔玉国 ,  杨依领 ,  娄军强 ,  谢启芳

IPC: B81C99/00

Abstract: 本发明公开了一平动两转动大行程无耦合大中空并联压电微动平台，包括定平台，定平台上方间隙设有动平台，定平台和动平台的中央设有透光孔，定平台设有第一驱动单元、第二驱动单元、第三驱动单元和第四驱动单元四个驱动单元；四个驱动单元分别顺次顶在动平台下方的四个正交方位上；第一驱动单元、第二驱动单元、第三驱动单元和第四驱动单元的结构相同，包括固定在定平台上的基座，分别连接在动平台底部和基座上的杠杆组件，施加在杠杆组件上的动力装置;四个驱动单元的结构相同，包括基座第一柔性件、杠杆、第二柔性件和动力装置。本发明在上下厚度方向上结构布局紧凑，平台位移行程大，第一柔性件式杠杆所传递的位移不会产生耦合位移。

公开(公告)号：CN111060232A

公开(公告)日：2020-04-24

申请号：CN201911104275.9

申请日：2019-11-13

Applicant: 宁波大学

Inventor： 崔玉国 ,  任志胜 ,  娄军强 ,  杨依领 ,  谢启芳 ,  应荣辉 ,  王博文

IPC: G01L1/16

Abstract: 本发明公开了一种压电执行器输出力的自感知方法，包括用于获得压电执行器晶片表面电荷的积分器，积分器包括运算放大器和积分电容，压电执行器输出力的自感知表达式为： 式中，Fest为压电执行器的自感知力，C、uout分别为积分器的积分电容、输出电压，α为电荷-位移系数，RP为压电执行器的绝缘电阻，u为施加在压电执行器上的驱动电压，QDA为压电执行器晶片的介电吸收电荷，iBIAS为运算放大器的偏置电流。本发明无需给积分器中的反馈电容并联电阻，就能消除压电执行器中晶片的漏电阻对自感知精度的影响；并且，补偿了压电执行器中晶片的介电吸收及构成积分器的运算放大器的偏置电流，能进一步提高压电执行器输出力的自感知精度。