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公开(公告)号：CN114845455A
公开(公告)日：2022-08-02
申请号：CN202210489274.6
申请日：2022-05-07
Applicant: 季华实验室
IPC: H05H1/46 , C23C16/511
Abstract: 本公开涉及一种微波等离子体化学气相沉积装置及系统。微波等离子体化学气相沉积装置包括：矩形波导，矩形波导包括多条微波传输路径，多条微波传输路径共用微波导入端口，多条微波传输路径的微波导出端口分立设置，微波导入端口用于将导入的微波经由对应的微波传输路径传导至对应的微波导出端口；等离子体反应腔体，等离子体反应腔体包括多个微波进入端口，微波导出端口与微波进入端口一一对应连通；多个电磁转换结构，电磁转换结构对应微波导出端口与微波进入端口的连通位置设置并与矩形波导接触设置。本公开的技术方案，有利于提高传导微波的能量容量，进而增加了等离子体反应腔体内的能量导入，提高了等离子体反应的均匀性。
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