激光光谱检测装置、方法、电子设备及存储介质

    公开(公告)号:CN117664933B

    公开(公告)日:2024-05-07

    申请号:CN202410132585.6

    申请日:2024-01-31

    Abstract: 本发明公开了一种激光光谱检测装置、方法、电子设备及存储介质,属于光谱检测技术领域,该装置包括:摆动工作台,摆动工作台用于放置样品;显微镜系统,显微镜系统位于摆动工作台的上方;倾斜角度检测模块,倾斜角度检测模块位于显微镜系统的一侧,用于检测放置在所述摆动工作台上的所述样品的倾斜角度;光谱仪,光谱仪位于显微镜系统与倾斜角度检测模块相对的另一侧;激光器,激光器位于显微镜系统的上方;主控模块,主控模块与摆动工作台、倾斜角度检测模块、光谱仪均通信连接。本发明实现了对表面不平整样品进行分析时,提高光谱分析精度的技术效果。

    激光光谱检测装置、方法、电子设备及存储介质

    公开(公告)号:CN117664933A

    公开(公告)日:2024-03-08

    申请号:CN202410132585.6

    申请日:2024-01-31

    Abstract: 本发明公开了一种激光光谱检测装置、方法、电子设备及存储介质,属于光谱检测技术领域,该装置包括:摆动工作台,摆动工作台用于放置样品;显微镜系统,显微镜系统位于摆动工作台的上方;倾斜角度检测模块,倾斜角度检测模块位于显微镜系统的一侧,用于检测放置在所述摆动工作台上的所述样品的倾斜角度;光谱仪,光谱仪位于显微镜系统与倾斜角度检测模块相对的另一侧;激光器,激光器位于显微镜系统的上方;主控模块,主控模块与摆动工作台、倾斜角度检测模块、光谱仪均通信连接。本发明实现了对表面不平整样品进行分析时,提高光谱分析精度的技术效果。

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