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公开(公告)号：CN119148479A
公开(公告)日：2024-12-17
申请号：CN202411522424.4
申请日：2024-10-29
Applicant: 季华实验室
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及气浮结构制造技术领域，特别涉及一种动态倾斜补偿的双轴气浮平台，包括用于放置定位玻璃基板的基板平台，设置于基板平台底端的微动装置，以及用于调节气浮机构平整度的X轴动态补偿调节装置和Y轴动态补偿调节装置，Y轴动态补偿调节装置分别与微动装置和X轴动态补偿调节装置的接触面之间密布有多个气浮垫，多个气浮垫通过固定螺钉相互拼接形成气浮导轨；每个气浮垫的顶端开设有均压槽，均压槽内设有用于检测气膜压力变化的气压传感器，气压传感器等距分布于气浮垫的四个边角和中心处。本发明的双轴气浮平台能够自动进行动态倾斜补偿、降低气浮平台的俯仰倾斜和横滚倾斜，提高气浮平台的运动精度，从而提高曝光机的加工精度。
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公开(公告)号：CN119666364A
公开(公告)日：2025-03-21
申请号：CN202510166473.7
申请日：2025-02-14
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本发明涉及检测装置领域，公开了一种高精度气体轴承静态特性测试台，高精度气体轴承静态特性测试台包括：光学底座；检测台，设置在光学底座上；悬挂支架，设置在光学底座上；检测气缸，检测气缸设置在悬挂支架上，检测气缸位于检测台的正上方；气浮球铰，气浮球铰设置在检测气缸的驱动端；压力传感器，压力传感器设置在气浮球铰的底部；上浮承载板，上浮承载板设置在压力传感器的底部，上浮承载板用于压合在检测台上；激光干涉测量组件，设置在上浮承载板的下表面与光学底座的上表面之间，用于测量上浮承载板下表面的位移以及倾斜性。本发明能够精确地评价气体轴承的部分静态特性。
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公开(公告)号：CN119267427A
公开(公告)日：2025-01-07
申请号：CN202411656710.X
申请日：2024-11-19
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本申请涉及型面精度调整领域，具体而言，涉及一种导轨型面精度调整装置和显示装备产线导轨，包括：安装架；水平推拉组件，安装在安装架上；第一楔体，与水平推拉组件连接，水平推拉组件用于驱动第一楔体在安装架上水平滑动，第一楔体顶面沿第一楔体的其中一个滑动方向向下倾斜；第二楔体，其顶部安装在显示装备产线导轨底部，与安装架升降滑动连接，其底面与第一楔体顶面贴合。本申请的导轨型面精度调整装置能解决用于现有的显示装备产线导轨的精度调整机构难以通过简单的结构实现对导轨进行精度调整，并且现有的用于显示装备产线导轨的精度调整机构的顶升力较小，精度调节过程较为费力的问题，具有结构简单以及省力的优点。
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公开(公告)号：CN119270596A
公开(公告)日：2025-01-07
申请号：CN202411717328.5
申请日：2024-11-27
Applicant: 季华实验室
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及一种工件台及曝光装置，工件台包括扫描滑块，步进滑块，载台，第一驱动电机和力抵消机构；扫描滑块设于地基上，扫描滑块能相对地基沿扫描方向移动；步进滑块设于扫描滑块上，步进滑块能相对扫描滑块沿步进方向移动；载台连接于步进滑块，载台用于承载工件；第一驱动电机设于地基上，并与扫描滑块连接，第一驱动电机用于驱动扫描滑块沿扫描方向移动；力抵消机构设于地基上，并与扫描滑块连接；其中，步进滑块相对扫描滑块沿步进方向移动时，力抵消机构对扫描滑块施加与步进滑块的移动方向相反的作用力，以抵消步进滑块对扫描滑块的作用力，扫描方向与步进方向相垂直。
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