公开(公告)号：CN101014878B

公开(公告)日：2010-11-10

申请号：CN200580005650.4

申请日：2005-02-22

Applicant: 威科仪器有限公司

Inventor： 戴维·马修·伯特内尔 ,  斯科特·A·汤森 ,  丹尼尔·E·西格弗里德 ,  维亚切斯拉夫·V·茹林

IPC: G01T1/18 ,  H01J47/02 ,  H01J47/06 ,  H01J47/08

CPC classification number: H01J27/04 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/08

Abstract: 本发明涉及一种离子源，其利用与阳极分开并且独立的冷却板进行冷却。冷却板形成冷却剂腔，流体冷却剂(例如，液体或者气体)能够流经该冷却剂腔以便冷却阳极。在这样的结构中，可以通过冷却板对磁体进行热保护。在传热界面部件中的导热材料能够提高冷却板的冷却能力。此外，冷却板与阳极的分开使冷却板和冷却管线与阳极的高电压电隔离(例如，利用导热、电绝缘材料)。将这些结构组合成阳极分组件和磁体分组件还能够便于离子源的装配和维护，尤其当阳极没有冷却剂管线时更是如此，因为冷却剂管线会在维护过程中带来某些困难。

公开(公告)号：CN101014878A

公开(公告)日：2007-08-08

申请号：CN200580005650.4

申请日：2005-02-22

Applicant: 威科仪器有限公司

Inventor： 戴维·马修·伯特内尔 ,  斯科特·A·汤森 ,  丹尼尔·E·西格弗里德 ,  维亚切斯拉夫·V·茹林

IPC: G01T1/18 ,  H01J47/02 ,  H01J47/06 ,  H01J47/08

CPC classification number: H01J27/04 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/08

Abstract: 本发明涉及一种离子源，其利用与阳极分开并且独立的冷却板进行冷却。冷却板形成冷却剂腔，流体冷却剂(例如，液体或者气体)能够流经该冷却剂腔以便冷却阳极。在这样的结构中，可以通过冷却板对磁体进行热保护。在传热界面部件中的导热材料能够提高冷却板的冷却能力。此外，冷却板与阳极的分开使冷却板和冷却管线与阳极的高电压电隔离(例如，利用导热、电绝缘材料)。将这些结构组合成阳极分组件和磁体分组件还能够便于离子源的装配和维护，尤其当阳极没有冷却剂管线时更是如此，因为冷却剂管线会在维护过程中带来某些困难。