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公开(公告)号：CN101014878B
公开(公告)日：2010-11-10
申请号：CN200580005650.4
申请日：2005-02-22
Applicant: 威科仪器有限公司
Inventor： 戴维·马修·伯特内尔 , 斯科特·A·汤森 , 丹尼尔·E·西格弗里德 , 维亚切斯拉夫·V·茹林
CPC classification number: H01J27/04 , H01J2237/002 , H01J2237/08
Abstract: 本发明涉及一种离子源，其利用与阳极分开并且独立的冷却板进行冷却。冷却板形成冷却剂腔，流体冷却剂(例如，液体或者气体)能够流经该冷却剂腔以便冷却阳极。在这样的结构中，可以通过冷却板对磁体进行热保护。在传热界面部件中的导热材料能够提高冷却板的冷却能力。此外，冷却板与阳极的分开使冷却板和冷却管线与阳极的高电压电隔离(例如，利用导热、电绝缘材料)。将这些结构组合成阳极分组件和磁体分组件还能够便于离子源的装配和维护，尤其当阳极没有冷却剂管线时更是如此，因为冷却剂管线会在维护过程中带来某些困难。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101401185A
公开(公告)日：2009-04-01
申请号：CN200780008535.1
申请日：2007-01-15
Applicant: 威科仪器有限公司
Inventor： 戴维·M·伯特内尔 , 斯科特·A·汤森 , 丹尼尔·E·西格弗里德
CPC classification number: H01J27/14
Abstract: 一种具有可拆卸的阳极组件(1550)的离子源(1500)，该阳极组件可与底部组件(1552)分开，以允许容易地维修阳极组件(1550)的消耗构件。这些消耗件易于拆卸及替换并可以包括气体分配器(1510)、热控制板(1508)、阳极(1512)、以及介于其他构件(1516、1518、1520)之间的一个或多个传热片(1516、1518、1520)。磁极片(1514)及阴极(1540)也可以是阳极组件(1550)的一部分。阳极组件(1550)可以通过磁极片(1514)连接至底部组件(1552)。热控制板(1508)可以具有用于使工作气体从热控制板(1508)的一侧流向另一侧的口(1598)。热控制板(1508)上的接合表面(1521)可以具有凹口图案，以允许工作气体散布到气体分配器(1510)下面。气体分配器(1510)可以通过多个固定螺钉(1542)安装至阳极组件(1550)中的热控制板(1508)。气体分配器(1510)可以是在一表面中具有沉孔(1548)的圆盘状，以使固定螺钉(1542)的螺母(1544)凹入。可替代地，气体分配器(1510)可以通过离子源(1500)的其他结构或构件夹紧或保持在适当位置。阳极组件(1550)内的消耗构件之间可以插入有传热片(1516、1518、1520)。传热片(1516、1518、1520)可以是导热的且是电绝缘的或导电的。
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公开(公告)号：CN101495981A
公开(公告)日：2009-07-29
申请号：CN200680010822.1
申请日：2006-03-31
Applicant: 威科仪器有限公司
Inventor： 龟山育也 , 丹尼尔·E·西格弗里德
IPC: G06F15/00
Abstract: 一种用于改变离子束栅格中的孔位置或尺寸或两者的设计方法，包括确定待被更改的控制栅格；获得用于栅格图案的变化系数；以及利用该变化系数来产生新的栅格图案。变化系数是孔位置变化系数或孔直径变化系数中的一个或两个。该设计方法还包括离子束栅格，所述离子束栅格具有由控制栅格孔位置或尺寸或两者的变化系数的改变所限定的孔位置或尺寸或两者的特征。
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公开(公告)号：CN101495981B
公开(公告)日：2013-02-06
申请号：CN200680010822.1
申请日：2006-03-31
Applicant: 威科仪器有限公司
Inventor： 龟山育也 , 丹尼尔·E·西格弗里德
IPC: G06F15/00
Abstract: 一种用于改变离子束栅格中的孔位置或尺寸或两者的设计方法，包括确定待被更改的控制栅格；获得用于栅格图案的变化系数；以及利用该变化系数来产生新的栅格图案。变化系数是孔位置变化系数或孔直径变化系数中的一个或两个。该设计方法还包括离子束栅格，所述离子束栅格具有由控制栅格孔位置或尺寸或两者的变化系数的改变所限定的孔位置或尺寸或两者的特征。
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公开(公告)号：CN101401185B
公开(公告)日：2010-12-01
申请号：CN200780008535.1
申请日：2007-01-15
Applicant: 威科仪器有限公司
Inventor： 戴维·M·伯特内尔 , 斯科特·A·汤森 , 丹尼尔·E·西格弗里德
CPC classification number: H01J27/14
Abstract: 一种具有可拆卸的阳极组件(1550)的离子源(1500)，该阳极组件可与底部组件(1552)分开，以允许容易地维修阳极组件(1550)的消耗构件。这些消耗件易于拆卸及替换并可以包括气体分配器(1510)、热控制板(1508)、阳极(1512)、以及介于其他构件(1516、1518、1520)之间的一个或多个传热片(1516、1518、1520)。磁极片(1514)及阴极(1540)也可以是阳极组件(1550)的一部分。阳极组件(1550)可以通过磁极片(1514)连接至底部组件(1552)。热控制板(1508)可以具有用于使工作气体从热控制板(1508)的一侧流向另一侧的的口(1598)。热控制板(1508)上的接合表面(1521)可以具有凹口图案，以允许工作气体散布到气体分配器(1510)下面。气体分配器(1510)可以通过多个固定螺钉(1542)安装至阳极组件(1550)中的热控制板(1508)。气体分配器(1510)可以是在一表面中具有沉孔(1548)的圆盘状，以使固定螺钉(1542)的螺母(1544)凹入。可替代地，气体分配器(1510)可以通过离子源(1500)的其他结构或构件夹紧或保持在适当位置。阳极组件(1550)内的消耗构件之间可以插入有传热片(1516、1518、1520)。传热片(1516、1518、1520)可以是导热的且是电绝缘的或导电的。
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公开(公告)号：CN101014878A
公开(公告)日：2007-08-08
申请号：CN200580005650.4
申请日：2005-02-22
Applicant: 威科仪器有限公司
Inventor： 戴维·马修·伯特内尔 , 斯科特·A·汤森 , 丹尼尔·E·西格弗里德 , 维亚切斯拉夫·V·茹林
CPC classification number: H01J27/04 , H01J2237/002 , H01J2237/08
Abstract: 本发明涉及一种离子源，其利用与阳极分开并且独立的冷却板进行冷却。冷却板形成冷却剂腔，流体冷却剂(例如，液体或者气体)能够流经该冷却剂腔以便冷却阳极。在这样的结构中，可以通过冷却板对磁体进行热保护。在传热界面部件中的导热材料能够提高冷却板的冷却能力。此外，冷却板与阳极的分开使冷却板和冷却管线与阳极的高电压电隔离(例如，利用导热、电绝缘材料)。将这些结构组合成阳极分组件和磁体分组件还能够便于离子源的装配和维护，尤其当阳极没有冷却剂管线时更是如此，因为冷却剂管线会在维护过程中带来某些困难。
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