偏心量取得方法以及偏心量取得装置

    公开(公告)号:CN105899989B

    公开(公告)日:2018-10-02

    申请号:CN201580004317.5

    申请日:2015-01-19

    Inventor: 足立要人

    Abstract: 在1个方式中,偏心量取得方法取得保持具有镜头室的多个镜头框(11~15)的镜筒内部的镜头框(11~15)的偏移偏心量,其中,该偏心量取得方法包含:组装工序,将形成有指标(21a~25a)且具有透光性的平板部件(21~25)配置于多个镜头室中的各个镜头室中,按照规定顺序将镜头框(11~15)配置于镜筒中来组装组装体(1);照明光照射工序,向平板部件(21~25)照射照明光;位置信息取得工序,取得与形成于平板部件(21~25)的指标(21a~25a)的位置相关的信息;以及偏移偏心量取得工序,分别取得形成于平板部件(21~25)的指标(21a~25a)的位置相对于任意基准位置的偏差量(σ),作为镜头框(11~15)的偏移偏心量。

    测定头以及具备该测定头的偏心测定装置

    公开(公告)号:CN107429994A

    公开(公告)日:2017-12-01

    申请号:CN201580077539.X

    申请日:2015-03-27

    Abstract: 测定头(1)具有光源部(3)、第一摄像元件(4)、第二摄像元件(5)、物镜光学系统(6)、光路分割元件(7)、公共光路(OPC)、第一光路(OP1)、第二光路(OP2),公共光路(OPC)从光路分割元件(7)朝向物镜光学系统(6)形成,第一光路(OP1)从光路分割元件(7)朝向第一摄像元件(4)形成,第二光路(OP2)从光路分割元件(7)朝向第二摄像元件(5)形成,以隔着光路分割元件(7)的方式,公共光路(OPC)位于一侧,第一光路(OP1)和第二光路(OP2)位于另一侧,光路分割元件(7)配置在第一光路(OP1)和第二光路(OP2)交叉的位置上,光源部(3)和第一摄像元件(4)一起配置在规定位置上,第二摄像元件(5)配置在与规定位置不同的位置上,规定位置是物镜光学系统(6)的焦点位置或与物镜光学系统(6)的焦点位置共轭的位置。

    偏心量取得方法以及偏心量取得装置

    公开(公告)号:CN105899989A

    公开(公告)日:2016-08-24

    申请号:CN201580004317.5

    申请日:2015-01-19

    Inventor: 足立要人

    CPC classification number: G01M11/08 G01M11/0221 G01M11/025

    Abstract: 在1个方式中,偏心量取得方法取得保持具有镜头室的多个镜头框(11~15)的镜筒内部的镜头框(11~15)的偏移偏心量,其中,该偏心量取得方法包含:组装工序,将形成有指标(21a~25a)且具有透光性的平板部件(21~25)配置于多个镜头室中的各个镜头室中,按照规定顺序将镜头框(11~15)配置于镜筒中来组装组装体(1);照明光照射工序,向平板部件(21~25)照射照明光;位置信息取得工序,取得与形成于平板部件(21~25)的指标(21a~25a)的位置相关的信息;以及偏移偏心量取得工序,分别取得形成于平板部件(21~25)的指标(21a~25a)的位置相对于任意基准位置的偏差量(σ),作为镜头框(11~15)的偏移偏心量。

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