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公开(公告)号:CN115516375A
公开(公告)日:2022-12-23
申请号:CN202180032905.5
申请日:2021-04-30
Applicant: 太阳控股株式会社 , 学校法人东京理科大学
Abstract: 提供稳定地带来良好的显影对比度的正型感光性树脂组合物。本发明为一种正型感光性树脂组合物,其包含:(A)具有被通过碱的作用而脱离的保护基团保护的羧基的聚酰胺酸、具有被通过碱的作用而脱离的保护基团保护的酚性羟基的聚酰亚胺或具有被通过碱的作用而脱离的保护基团保护的酚性羟基的聚苯并噁唑前体;及(B)光产碱剂,所述光产碱剂是通过共价键将酸解离常数pKa为10.8以上的碱性化合物潜在化而成的。
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公开(公告)号:CN114450632A
公开(公告)日:2022-05-06
申请号:CN202080068119.6
申请日:2020-09-17
Applicant: 太阳控股株式会社
Abstract: 提供:具有高的曝光部溶解速度、且能实现优异的溶解对比度(分辨率)的感光性树脂组合物。一种感光性树脂组合物,其包含:(A)为二胺化合物与二羧酸的反应物的聚酰亚胺前体、和(B)感光剂,前述二胺化合物包含选自下述通式(1)和(2)所示的二胺化合物中的至少1种,前述二羧酸包含选自羧酸酐和二羧酸氯化物中的至少1种。
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公开(公告)号:CN119032325A
公开(公告)日:2024-11-26
申请号:CN202380031054.1
申请日:2023-03-30
Applicant: 太阳控股株式会社
Abstract: 提供具有更优异的分辨率和绝缘可靠性的新的负型感光性树脂组合物。一种负型感光性树脂组合物,其特征在于,含有:包含下式(1)所示的结构单元的(A)多羟基酰胺化合物、(B)肟磺酸酯化合物和(C)交联剂,前述(A)多羟基酰胺化合物的重均分子量为2000~20000,前述(A)多羟基酰胺化合物不含羧基或羧基当量为1500g/eq以上,前述(C)交联剂包含多个甲氧基甲基和/或羟甲基。(式(1)中,R1为2价的有机基团,R2为4价的有机基团。)。#imgabs0#
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