公开(公告)号：CN115516375A

公开(公告)日：2022-12-23

申请号：CN202180032905.5

申请日：2021-04-30

Applicant: 太阳控股株式会社 ,  学校法人东京理科大学

Inventor： 秋元真步 ,  国土萌衣 ,  绪方寿幸 ,  石川信广 ,  有光晃二

IPC: G03F7/004 ,  C08G73/10 ,  C08G73/22 ,  G03F7/039 ,  G03F7/20 ,  G03F7/40

Abstract: 提供稳定地带来良好的显影对比度的正型感光性树脂组合物。本发明为一种正型感光性树脂组合物，其包含：(A)具有被通过碱的作用而脱离的保护基团保护的羧基的聚酰胺酸、具有被通过碱的作用而脱离的保护基团保护的酚性羟基的聚酰亚胺或具有被通过碱的作用而脱离的保护基团保护的酚性羟基的聚苯并噁唑前体；及(B)光产碱剂，所述光产碱剂是通过共价键将酸解离常数pKa为10.8以上的碱性化合物潜在化而成的。

公开(公告)号：CN114450632A

公开(公告)日：2022-05-06

申请号：CN202080068119.6

申请日：2020-09-17

Applicant: 太阳控股株式会社

Inventor： 秋元真步 ,  国土萌衣 ,  绪方寿幸

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/023 ,  H05K3/28

Abstract: 提供：具有高的曝光部溶解速度、且能实现优异的溶解对比度(分辨率)的感光性树脂组合物。一种感光性树脂组合物，其包含：(A)为二胺化合物与二羧酸的反应物的聚酰亚胺前体、和(B)感光剂，前述二胺化合物包含选自下述通式(1)和(2)所示的二胺化合物中的至少1种，前述二羧酸包含选自羧酸酐和二羧酸氯化物中的至少1种。