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公开(公告)号：CN114378704A
公开(公告)日：2022-04-22
申请号：CN202210037263.4
申请日：2022-01-13
Applicant: 大连理工大学
IPC: B24B29/02 , B24B27/00 , B24B41/02 , B24B41/06 , B24B47/12 , B24B47/20 , B24B49/04 , B24B51/00 , B24B53/02 , B24B57/02
Abstract: 本发明公开了一种适用于大尺寸KDP晶体超精密高效抛光装置与方法，所述的抛光装置包括支撑单元、精密水平运动滑台、工件抛光夹持单元、多点浓度连续可调控抛光液供给单元、底座、精密回转工作台、抛光垫修整单元、在线测量单元、抛光残液连续吸除回收单元和设备控制系统单元；所述的抛光方法包括粗抛光加工、精抛光加工、超精密抛光加工三个阶段，每个加工阶段采用不同种类的抛光液，通过控制系统可实现大尺寸KDP晶体的全口径粗、精、超精密多工序一体化抛光加工，具有显著的加工效率高、加工精度高等特色。本发明既能够实现大尺寸KDP晶体超精密抛光加工，又能提高加工效率，实现大尺寸KDP的高效、高质、近无损伤超精密加工。
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公开(公告)号：CN110977622B
公开(公告)日：2021-04-02
申请号：CN201911286514.7
申请日：2019-12-13
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明公开了一种抛光液多点可变位自动滴液的控制方法，利用自动滴液装置进行控制，所述装置包括升降单元、旋转单元、移动单元、滴液单元和控制单元；所述控制单元通过控制线路连接升降单元、旋转单元、移动单元、滴液单元和储液单元。本发明通过升降单元、旋转单元、移动单元实现滴液单元在竖直方向的高度、水平面上的距离和角度可调；通过滴液单元实现抛光液的多点滴定；通过控制单元实现对各个单元的自动控制，实现抛光液多点滴定自动化；本发明解决了抛光液滴定位置单一、种类单一、分布不均匀的问题，实现了抛光液滴定的流量可控、数量可控、位置可控，使抛光液从多个位置均匀稳定的滴定到抛光设备上，从而大大提高和改善抛光效果。
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公开(公告)号：CN114378704B
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202210037263.4
申请日：2022-01-13
Applicant: 大连理工大学
IPC: B24B29/02 , B24B27/00 , B24B41/02 , B24B41/06 , B24B47/12 , B24B47/20 , B24B49/04 , B24B51/00 , B24B53/02 , B24B57/02
Abstract: 本发明公开了一种适用于大尺寸KDP晶体超精密高效抛光装置与方法，所述的抛光装置包括支撑单元、精密水平运动滑台、工件抛光夹持单元、多点浓度连续可调控抛光液供给单元、底座、精密回转工作台、抛光垫修整单元、在线测量单元、抛光残液连续吸除回收单元和设备控制系统单元；所述的抛光方法包括粗抛光加工、精抛光加工、超精密抛光加工三个阶段，每个加工阶段采用不同种类的抛光液，通过控制系统可实现大尺寸KDP晶体的全口径粗、精、超精密多工序一体化抛光加工，具有显著的加工效率高、加工精度高等特色。本发明既能够实现大尺寸KDP晶体超精密抛光加工，又能提高加工效率，实现大尺寸KDP的高效、高质、近无损伤超精密加工。
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公开(公告)号：CN110977622A
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201911286514.7
申请日：2019-12-13
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明公开了一种抛光液多点可变位自动滴液的控制方法，利用自动滴液装置进行控制，所述装置包括升降单元、旋转单元、移动单元、滴液单元和控制单元；所述控制单元通过控制线路连接升降单元、旋转单元、移动单元、滴液单元和储液单元。本发明通过升降单元、旋转单元、移动单元实现滴液单元在竖直方向的高度、水平面上的距离和角度可调；通过滴液单元实现抛光液的多点滴定；通过控制单元实现对各个单元的自动控制，实现抛光液多点滴定自动化；本发明解决了抛光液滴定位置单一、种类单一、分布不均匀的问题，实现了抛光液滴定的流量可控、数量可控、位置可控，使抛光液从多个位置均匀稳定的滴定到抛光设备上，从而大大提高和改善抛光效果。
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