公开(公告)号：CN119959304A

公开(公告)日：2025-05-09

申请号：CN202510127355.5

申请日：2025-02-04

Applicant: 大连理工大学

Inventor： 余隽 ,  周月季 ,  张涵 ,  刘源 ,  赵文清 ,  姚冠宇 ,  张建伟

IPC: G01N27/00 ,  B81B7/02 ,  B81B7/00 ,  H03M1/46 ,  H03M1/12

Abstract: 一种微气体传感器阵列的电路结构及工作方法，其属于集成电路的技术领域。该电路结构包括多路选择器（MUX），可编程增益放大器（PGA），低通滤波器（LPF），驱动器（Drive），逐次逼近型模数转换器（SAR ADC），数字控制模块（Digital Control）以及用于通讯的IIC接口。针对传感器信号对高精度和强鲁棒性的需求，在SAR ADC噪声整形电路中采用共源共栅浮动反向动态放大器，显著提升了电路对工艺、电压和温度（PVT）变化的不敏感性；通过增加时域比较器（COMP）中压控延迟的数量，降低输入参考噪声；在异步SAR逻辑后集成百纳秒级超长延时模块（DELAY），有效减少SAR ADC采样误差，从而提高整个系统的测量精度。