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公开(公告)号：CN109594051A
公开(公告)日：2019-04-09
申请号：CN201910054977.4
申请日：2019-01-21
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明属于微纳制造技术领域，提供了一种应用于电阻法真空蒸镀铝厚膜设备的专用夹具。该专用夹具为左右对称结构，包括左夹具、左电极、第一钨丝盖板、第一钨丝、第二钨丝、铝环、第二钨丝盖板、右电极和右夹具。使用蒸发源铝环的用量是改造前用量约2.5倍，蒸发源铝环用量增加后，单次蒸镀的极限厚度由几百纳米尺度级别增加至微米尺度级别，通过增加蒸发源铝环的用量可显著改善镀膜的极限厚度。使用改造后夹具及钨丝蒸镀铝膜时，当样品与蒸发源之间距离加长，两者之间夹角为71.4°，此时单次可蒸镀铝膜极限厚度为微米尺度级别，本夹具达到蒸镀铝厚膜的目的。
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公开(公告)号：CN209584364U
公开(公告)日：2019-11-05
申请号：CN201920096445.2
申请日：2019-01-21
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本实用新型属于微纳制造技术领域，提供了一种应用于电阻法真空蒸镀铝厚膜设备的专用夹具。该专用夹具为左右对称结构，包括左夹具、左电极、第一钨丝盖板、第一钨丝、第二钨丝、铝环、第二钨丝盖板、右电极和右夹具。使用蒸发源铝环的用量是改造前用量约2.5倍，蒸发源铝环用量增加后，单次蒸镀的极限厚度由几百纳米尺度级别增加至微米尺度级别，通过增加蒸发源铝环的用量可显著改善镀膜的极限厚度。使用改造后夹具及钨丝蒸镀铝膜时，当样品与蒸发源之间距离加长，两者之间夹角为71.4°，此时单次可蒸镀铝膜极限厚度为微米尺度级别，本夹具达到蒸镀铝厚膜的目的。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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