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公开(公告)号：CN113787450B
公开(公告)日：2022-11-15
申请号：CN202111043240.6
申请日：2021-09-07
Applicant: 大连理工大学 , 大连理工大学宁波研究院
Abstract: 本发明提供一种FeCrAl材料的超光滑表面制备方法，属于精密/超精密加工技术领域。首先，将FeCrAl工件粘粘在圆形载盘上，将研磨垫粘在研磨盘上，再将圆形载盘置于研磨盘上，通过研磨工艺，磨平工件。其次，将其置于粘接有抛光垫的抛光盘上进行粗抛，通过在载盘上添加配重的方式来设置工件的抛光压力，达到去除划痕的目的。最后，将抛光垫更换后进行精抛，达到抑制工件表面的晶间高差的作用。本发明的工艺方法简单，加工得到的工件加工质量高。通过对FeCrAl合金的研磨与抛光，表面粗糙度达到1nm以下，研磨抛光总时间较短，可高效实现FeCrAl合金的超光滑表面加工。
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公开(公告)号：CN113787450A
公开(公告)日：2021-12-14
申请号：CN202111043240.6
申请日：2021-09-07
Applicant: 大连理工大学 , 大连理工大学宁波研究院
Abstract: 本发明提供一种FeCrAl材料的超光滑表面制备方法，属于精密/超精密加工技术领域。首先，将FeCrAl工件粘粘在圆形载盘上，将研磨垫粘在研磨盘上，再将圆形载盘置于研磨盘上，通过研磨工艺，磨平工件。其次，将其置于粘接有抛光垫的抛光盘上进行粗抛，通过在载盘上添加配重的方式来设置工件的抛光压力，达到去除划痕的目的。最后，将抛光垫更换后进行精抛，达到抑制工件表面的晶间高差的作用。本发明的工艺方法简单，加工得到的工件加工质量高。通过对FeCrAl合金的研磨与抛光，表面粗糙度达到1nm以下，研磨抛光总时间较短，可高效实现FeCrAl合金的超光滑表面加工。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115181498B
公开(公告)日：2024-10-25
申请号：CN202210746930.6
申请日：2022-06-29
Applicant: 大连理工大学 , 大连理工大学宁波研究院
Abstract: 本发明属于研磨抛光加工技术领域，提供一种用于KDP晶体的抛光液及高效研磨抛光工艺。所述的抛光液为由磨粒、反应物、添加剂、有机溶剂、去离子水组成的非水基化学机械抛光液。高效研磨抛光工艺包括粗研、精研、抛光、清洗。本发明在研磨阶段通过固结磨料垫表层有效磨粒的微切削作用快速去除线切割产生的宏观加工纹理以及脆性损伤。本发明将研磨分为两个阶段，兼顾研磨效率和表面质量；在抛光阶段，利用抛光液中反应物的化学作用、去离子水的溶解作用、磨粒的机械作用实现对材料的去除，可在低压下快速将晶体表面粗糙度降至纳米级；采用的固结磨料研磨抛光垫，不易造成表面损伤，加工效率高。
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公开(公告)号：CN115181498A
公开(公告)日：2022-10-14
申请号：CN202210746930.6
申请日：2022-06-29
Applicant: 大连理工大学 , 大连理工大学宁波研究院
Abstract: 本发明属于研磨抛光加工技术领域，提供一种用于KDP晶体的抛光液及高效研磨抛光工艺。所述的抛光液为由磨粒、反应物、添加剂、有机溶剂、去离子水组成的非水基化学机械抛光液。高效研磨抛光工艺包括粗研、精研、抛光、清洗。本发明在研磨阶段通过固结磨料垫表层有效磨粒的微切削作用快速去除线切割产生的宏观加工纹理以及脆性损伤。本发明将研磨分为两个阶段，兼顾研磨效率和表面质量；在抛光阶段，利用抛光液中反应物的化学作用、去离子水的溶解作用、磨粒的机械作用实现对材料的去除，可在低压下快速将晶体表面粗糙度降至纳米级；采用的固结磨料研磨抛光垫，不易造成表面损伤，加工效率高。
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公开(公告)号：CN112462686B
公开(公告)日：2021-09-21
申请号：CN202011296279.4
申请日：2020-11-18
Applicant: 大连理工大学
IPC: G05B19/19
Abstract: 本发明公开了一种基于反转形貌法的刀具磨损测量位移控制压入装置，包括位移传感器、PLC控制装置、数控系统、真空泵和真空吸盘；所述位移传感器包括信号发射器和信号接收器；所述信号发射器固定安装在刀具的刀柄处，所述信号接收器通过胶粘方式安装于软质金属表面。本发明通过位移控制刀具压入软质金属的深度。通过将磨损前和磨损后的刀具磨损部分复刻到软质金属上并使用表面轮廓测量设备进行测量，对比两次测量结果，进一步得出刀具的磨损量，特别适用于金刚石刀具的磨损检测。本发明通过位移控制压入深度可以很好的保证刀具磨损前后两次压印过程深度相同，刀具磨损部分完全复刻到软质金属，大大提高了检测过程的可信度，提高了检测精度。
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公开(公告)号：CN112462687A
公开(公告)日：2021-03-09
申请号：CN202011296299.1
申请日：2020-11-18
Applicant: 大连理工大学
IPC: G05B19/19
Abstract: 本发明公开了一种基于反转形貌法测量刀具磨损的力控制压入装置，包括压力传感器、PLC控制器、装夹平台、导轨、丝杠、步进电机、移动平台和压板；本发明通过对加工前后刀具的磨损情况进行对比，得出刀具的磨损情况来判断是否要进行换刀操作，具体方法是通过夹具将复刻金属装夹在机床上，通过力控制使复刻金属不断靠近刀具，从而得到压印形貌，对形貌进行处理，得到刀具磨损量。本发明可以高精度的控制刀具的压入量，减小因压入深度过大而引起的测量误差和测量不确定度。本发明利用机械装夹的方式装夹复刻金属，可以准确定位且夹紧可靠，所需时间较短，且可以将工件和复刻金属同时安装于机床上，能够实现在线测量。
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公开(公告)号：CN112462686A
公开(公告)日：2021-03-09
申请号：CN202011296279.4
申请日：2020-11-18
Applicant: 大连理工大学
IPC: G05B19/19
Abstract: 本发明公开了一种基于反转形貌法的刀具磨损测量位移控制压入装置，包括位移传感器、PLC控制装置、数控系统、真空泵和真空吸盘；所述位移传感器包括信号发射器和信号接收器；所述信号发射器固定安装在刀具的刀柄处，所述信号接收器通过胶粘方式安装于软质金属表面。本发明通过位移控制刀具压入软质金属的深度。通过将磨损前和磨损后的刀具磨损部分复刻到软质金属上并使用表面轮廓测量设备进行测量，对比两次测量结果，进一步得出刀具的磨损量，特别适用于金刚石刀具的磨损检测。本发明通过位移控制压入深度可以很好的保证刀具磨损前后两次压印过程深度相同，刀具磨损部分完全复刻到软质金属，大大提高了检测过程的可信度，提高了检测精度。
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