基于MEMS传感器的插入式流量测量装置

    公开(公告)号:CN101349581B

    公开(公告)日:2010-06-09

    申请号:CN200810012819.4

    申请日:2008-08-12

    Abstract: 本发明涉及一种流量测量装置,尤其是基于MEMS传感器的插入式流量测量装置。该装置由测量管、探头、固定装置、二次仪表、高压取压口、低压取压口及传感器部分的MEMS敏感芯体、封装结构、信号线构成。该装置将MEMS敏感芯体置于探头内部,取压口也位于测量管内,取消了传统插入式流量计需要引压到管外的结构。根据流量-差压数学关系模型和现场实际标定,实现对流量的动态和稳态测量。本发明解决了传统插入式流量计动态特性差,误差大,损耗高等问题。

    基于MEMS插入式流量传感器的液压系统功率测量装置

    公开(公告)号:CN101403402A

    公开(公告)日:2009-04-08

    申请号:CN200810012824.5

    申请日:2008-08-12

    Abstract: 本发明涉及一种液压系统功率测量装置,尤其是基于MEMS插入式流量传感器的液压系统功率测量装置。该装置主要由测量管、探头、固定装置、流量计二次仪表、封装结构、MEMS敏感芯体、信号线、高压取压口、低压取压口,压力传感器和信号采集处理设备构成。流量测量装置将MEMS敏感芯体置于插入式流量计探头内部,取消了传统插入式流量计需要引压到管外的结构。压力传感器测量所在管路的压力信号。根据流量-压力-功率数学关系模型,实现对液压系统功率的测量。本发明实现了液压系统流量、压力以及功率的在线测量,为液压系统状态监测以及故障诊断提供了合适的解决方案。

    一种双矩形线圈高通量电感式油液检测装置

    公开(公告)号:CN117110149A

    公开(公告)日:2023-11-24

    申请号:CN202310959729.0

    申请日:2023-08-01

    Abstract: 本发明提供一种双矩形线圈高通量电感式油液检测装置,包括双矩形线圈微流体芯片、信号处理电路和数据采集卡,双矩形线圈微流体芯片包括注油口、PDMS、微流道、玻璃载片、出油口、第一矩形激励线圈、第二矩形激励线圈、谐振电容和薄片坡莫合金,第一激励线圈和第二激励线圈并联在电压为Uin的波形发生器上,谐振电容与第一激励线圈和第二激励线圈并联连接,且其两端与信号处理电路连接;激励信号Uin由波形发生器发出正弦信号,输出的感应信号Uout也为正弦交流信号,通过信号处理电路转换为直流信号,最后通过数据采集卡转换为数字信号储存在计算机当中。本发明能够在几乎不损失检测精度且得到稳定检测结果的前提下,大大提升微流体芯片的微流道通量。

    一种油液检测的多信号同步反馈装置

    公开(公告)号:CN110031373B

    公开(公告)日:2021-12-28

    申请号:CN201910413622.X

    申请日:2019-05-17

    Abstract: 本发明提供一种油液检测的多信号同步反馈装置,包括检测装置和激励‑检测单元,检测装置包括微流控芯片,用于区分检测油液中的铁磁性金属颗粒、非铁磁性金属颗粒、水滴和气泡。首次在芯片中设置了沉积槽,可对金属颗粒和非金属颗粒进行有效的分离,实现四种颗粒污染物的同步检测。省去了测量模式切换单元,芯片可直接与激励‑检测单元相连,缩短了信号采集的响应时间,使检测效果更加精确高效。该芯片将两个传感单元集成到了一个芯片上,实现了油液中的电感、电阻和电容的多参数测量,以此完成对滑油、液压油中多种颗粒污染物的区分检测,对机器设备进行油液在线监测提供了行之有效的方法,并且可以对机器设备进行故障诊断。

    一种平面电感式磨粒监测装置及其制作方法

    公开(公告)号:CN109916785B

    公开(公告)日:2021-10-22

    申请号:CN201910252037.6

    申请日:2019-03-29

    Abstract: 本发明提供一种平面电感式磨粒监测装置及其制作方法,包括传感装置、动力单元、观察单元、激励‑检测单元以及数据处理单元;传感装置、动力单元、观察单元、激励‑检测单元以及数据处理单元实现电连接;使用时,动力单元将带有磨粒的油液注入传感装置,激励‑检测单元对平面电感线圈施加交流电激励,并检测平面电感线圈测得的电感信号,将其电感信号经由模数转换器传送至数据处理单元,数据处理单元对上述电感信号数据进行处理分析,获取磨粒的信息。本发明装置通过将平面电感线圈的紧贴环状硅钢片的方式,使得平面电感线圈更加灵敏的检测到金属磨粒,提高了检测精度,可以对液压系统进行准确的监测,及时更换油液,预防故障发生,对机器设备进行故障诊断。

    一种高灵敏度液压油液检测装置及其制作方法

    公开(公告)号:CN109115844A

    公开(公告)日:2019-01-01

    申请号:CN201810991295.1

    申请日:2018-08-29

    Abstract: 本发明提供一种高灵敏度液压油液检测装置及其制作方法,用于区分检测油液中的铁磁性金属颗粒、非铁磁性金属颗粒、水滴和气泡等颗粒污染物。装置制作方法基于微流控芯片技术,首次将两个平面线圈,两个螺线管线圈组合嵌入微流控芯片中,两个平面线圈贴合放置,两侧分别对称放置螺线管线圈,并分别在两个螺线管线圈中加入两个硅钢片,显著提高了装置的检测灵敏度。该芯片利用同一个传感器单元进行电压检测,从而实现对滑油、液压油中多种颗粒污染物的区分检测,对机器设备进行油液在线监测提供了行之有效的方法,并且可以对机器设备进行故障诊断。

    基于MEMS传感器的插入式流量测量装置

    公开(公告)号:CN101349581A

    公开(公告)日:2009-01-21

    申请号:CN200810012819.4

    申请日:2008-08-12

    Abstract: 本发明涉及一种流量测量装置,尤其是基于MEMS传感器的插入式流量测量装置。该装置由测量管、探头、固定装置、二次仪表、高压取压口、低压取压口及传感器部分的MEMS敏感芯体、封装结构、信号线构成。该装置将MEMS敏感芯体置于探头内部,取压口也位于测量管内,取消了传统插入式流量计需要引压到管外的结构。根据流量-差压数学关系模型和现场实际标定,实现对流量的动态和稳态测量。本发明解决了传统插入式流量计动态特性差,误差大,损耗高等问题。

    船用液压设备液压系统基于MEMS节流管流量传感器的功率测量装置

    公开(公告)号:CN117108591A

    公开(公告)日:2023-11-24

    申请号:CN202310959732.2

    申请日:2023-08-01

    Abstract: 本发明提供一种船用液压设备液压系统基于MEMS节流管流量传感器的功率测量装置,包括:测量管、节流管、MEMS敏感芯体、信号线、流量计二次仪表信号采集处理设备和压力传感器;测量管的内部固定连接节流管,且与节流管保持同轴;节流管为两端开口中间部分收缩,使节流管内外产生压力差;MEMS敏感芯体封装在节流管的中部,包括两个压力测量口,分别接触高压、低压流体。本发明进行功率测量时,流体流过节流管时在节流管内外两侧会产生对应于流量大小的压力差信号,MEMS敏感芯体获取到压力差信号,并通过信号线将压力差信号引出测量管送至流量计二次仪表,信号采集处理设备根据流量和压力差数学关系模型和现场实际标定,实现对流量的动态和稳态测量。

    一种多参数油液检测装置及其制作方法

    公开(公告)号:CN109115838B

    公开(公告)日:2021-04-23

    申请号:CN201810991314.0

    申请日:2018-08-29

    Abstract: 本发明专利公开了一种多参数油液检测装置及其制作方法,用于区分检测油液中的铁磁性金属颗粒、非铁磁性金属颗粒、水滴和气泡。基于微流控芯片的制作方法,首次在微流道正中心填充金属杆,引入了电容检测模式;首次将环形流道设置在微流体芯片中,充分利用了平面电感线圈的内孔,保证了金属颗粒物通过检测最为灵敏的区域,可以在保证检测精度的同时提高了芯片的检测通量;该芯片采用了竖直式流道降低油液中的污染物在流道壁上的粘附概率,有效的防止了污染物在流道中的沉积堵塞。该芯片可以完成对滑油、液压油中多种颗粒污染物的区分检测,对机器设备进行油液综合快速检测提供了新的方法,可以对机器设备进行故障诊断。

    一种油液检测的多信号同步反馈装置

    公开(公告)号:CN110031373A

    公开(公告)日:2019-07-19

    申请号:CN201910413622.X

    申请日:2019-05-17

    Abstract: 本发明提供一种油液检测的多信号同步反馈装置,包括检测装置和激励-检测单元,检测装置包括微流控芯片,用于区分检测油液中的铁磁性金属颗粒、非铁磁性金属颗粒、水滴和气泡。首次在芯片中设置了沉积槽,可对金属颗粒和非金属颗粒进行有效的分离,实现四种颗粒污染物的同步检测。省去了测量模式切换单元,芯片可直接与激励-检测单元相连,缩短了信号采集的响应时间,使检测效果更加精确高效。该芯片将两个传感单元集成到了一个芯片上,实现了油液中的电感、电阻和电容的多参数测量,以此完成对滑油、液压油中多种颗粒污染物的区分检测,对机器设备进行油液在线监测提供了行之有效的方法,并且可以对机器设备进行故障诊断。

Patent Agency Ranking