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公开(公告)号：CN100375110C
公开(公告)日：2008-03-12
申请号：CN200510074603.7
申请日：2005-05-30
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
CPC classification number: G06K9/2036 , G06T7/0006 , G06T7/90 , G06T2207/10152 , G06T2207/30141
Abstract: 本发明涉及一种用图像的区域分割获取物体的表面区域的配置的方法。在相互不同的多个照明条件下对物体进行拍摄，获取多个图像。通过对这些多个图像分别进行区域分割，获取与物体的表面区域的配置不同的多个图像区域配置。而且，基于多个图像区域配置，获取物体的表面区域的配置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1696671A
公开(公告)日：2005-11-16
申请号：CN200510065123.4
申请日：2005-04-08
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
IPC: G01N21/88 , G01N21/956 , G01B11/30 , G06K9/20 , G06T1/00 , G06T7/00 , H05K3/00 , H04N1/60 , H04N1/46 , H04N9/64
CPC classification number: G06T7/001 , G06T2207/30141
Abstract: 在表示图案(包括衬底上形成的接线)的基准二进制图像中，对于具有与对应于接线区域的像素值相同的像素值的特定区域进行侵蚀，以获取侵蚀图像，并将保留于侵蚀图像中的特定区域进行放大至与该侵蚀几乎相同的程度，以获取侵蚀和放大的图像。随后，产生该侵蚀和放大图像与基准二进制图像之差的图像，作为表示接线区域的接线图像。由此，可容易地提取作为细微图案区域的接线区域。通过基于该接线图像，为接线区域和其他区域设定各个不同的缺陷检测灵敏度，并根据这些缺陷检测灵敏度，检测一检查图像中的缺陷，可适当地检测衬底上的图案缺陷。
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公开(公告)号：CN100565196C
公开(公告)日：2009-12-02
申请号：CN200510065123.4
申请日：2005-04-08
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
IPC: G01N21/956 , G06K9/20 , G06T1/00 , G06T7/00
CPC classification number: G06T7/001 , G06T2207/30141
Abstract: 在表示图案(包括衬底上形成的接线)的基准二进制图像中，对于具有与对应于接线区域的像素值相同的像素值的特定区域进行侵蚀，以获取侵蚀图像，并将保留于侵蚀图像中的特定区域进行放大至与该侵蚀几乎相同的程度，以获取侵蚀和放大的图像。随后，产生该侵蚀和放大图像与基准二进制图像之差的图像，作为表示接线区域的接线图像。由此，可容易地提取作为细微图案区域的接线区域。通过基于该接线图像，为接线区域和其他区域设定各个不同的缺陷检测灵敏度，并根据这些缺陷检测灵敏度，检测一检查图像中的缺陷，可适当地检测衬底上的图案缺陷。
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公开(公告)号：CN1725231A
公开(公告)日：2006-01-25
申请号：CN200510074603.7
申请日：2005-05-30
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
CPC classification number: G06K9/2036 , G06T7/0006 , G06T7/90 , G06T2207/10152 , G06T2207/30141
Abstract: 本发明涉及一种用图像的区域分割获取物体的表面区域的配置的方法。在相互不同的多个照明条件下对物体进行拍摄，获取多个图像。通过对这些多个图像分别进行区域分割，获取与物体的表面区域的配置不同的多个图像区域配置。而且，基于多个图像区域配置，获取物体的表面区域的配置。
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公开(公告)号：CN100349174C
公开(公告)日：2007-11-14
申请号：CN200510065047.7
申请日：2005-04-11
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
IPC: G06K9/03
CPC classification number: G06T7/001 , G06K9/033 , G06T2207/30141
Abstract: 提供一种辅助选择图案单元用于图案匹配的装置和方法，该装置包括：图案单元提取器(51)，由计算机执行其功能之一，从基准图像中提取多个图案单元，基准图像的一区域被显示在显示器(45)上；输入部分(46)，接受操作者从多个图案单元之中选出一个图案单元作为基准单元的选择；鉴别校验器(52)，检查所选图案单元是否可区别于其他图案单元和是否可用作为用于图案匹配的基准图案单元。将检查结果通报给操作者，通过参照鉴别校验器(52)所进行的检查结果，从基准图像中的图案单元之中选出一个适当图案单元，作为基准图案单元。因此，能够防止在图案匹配中检测目标图像相对于基准图像的位置时所用基准图案单元的错误识别。
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公开(公告)号：CN1699917A
公开(公告)日：2005-11-23
申请号：CN200510065047.7
申请日：2005-04-11
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
IPC: G01B11/03
CPC classification number: G06T7/001 , G06K9/033 , G06T2207/30141
Abstract: 提供一种辅助选择图案单元用于图案匹配的装置和方法，该装置包括：图案单元提取器(51)，由计算机执行其功能之一，从基准图像中提取多个图案单元，基准图像的一区域被显示在显示器(45)上；输入部分(46)，接受操作者从多个图案单元之中选出一个图案单元作为基准单元的选择；鉴别校验器(52)，检查所选图案单元是否可区别于其他图案单元和是否可用作为用于图案匹配的基准图案单元。将检查结果通报给操作者，通过参照鉴别校验器(52)所进行的检查结果，从基准图像中的图案单元之中选出一个适当图案单元，作为基准图案单元。因此，能够防止在图案匹配中检测目标图像相对于基准图像的位置时所用基准图案单元的错误识别。
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