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公开(公告)号:CN100587480C
公开(公告)日:2010-02-03
申请号:CN200510092185.4
申请日:2005-08-22
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
IPC: G01N21/956 , G01N21/88 , G01N21/29
Abstract: 本发明提供一种基于物体的彩色图像的缺陷检测方法及装置,能够提高检查对象物的缺陷检出处理的可靠性。获取对包含通孔的检查对象物进行摄像而得到的彩色图像。获取该彩色图像中的与通孔相当的特定区域和特定区域的周围的相邻区域。相应于所获取的相邻区域的颜色,变更包含特定区域的掩模区域的大小。而对于该掩模区域以外的区域,进行规定的缺陷检出处理。
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公开(公告)号:CN1746666A
公开(公告)日:2006-03-15
申请号:CN200510092185.4
申请日:2005-08-22
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
IPC: G01N21/956 , G01N21/88 , G01N21/29
Abstract: 本发明提供一种基于物体的彩色图像的缺陷检出的技术,提高了检查对象物的缺陷检出处理的可靠性。获取对包含通孔的检查对象物进行摄像而得到的彩色图像。获取该彩色图像中的与通孔相当的特定区域和特定区域的周围的相邻区域。相应于所获取的相邻区域的颜色,变更包含特定区域的掩模区域的大小。而对于该掩模区域以外的区域,进行规定的缺陷检出处理。
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公开(公告)号:CN1728160A
公开(公告)日:2006-02-01
申请号:CN200510078586.4
申请日:2005-06-17
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
CPC classification number: G06T7/001
Abstract: 一种利用图像的区域分割的缺陷的检出,抑制由于缺陷的检出对象的形状引起的缺陷的检出处理量的增大。对具有多个颜色的区域的检查对象物进行摄像。根据颜色将通过摄像得到的检查对象物的彩色图像进行区域分割。从该区域分割结果获取表示特定的区域的形状的被检查图像。并且,通过对比被检查图像和比较图像,检测出有关特定区域的缺陷。
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公开(公告)号:CN1696671A
公开(公告)日:2005-11-16
申请号:CN200510065123.4
申请日:2005-04-08
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
IPC: G01N21/88 , G01N21/956 , G01B11/30 , G06K9/20 , G06T1/00 , G06T7/00 , H05K3/00 , H04N1/60 , H04N1/46 , H04N9/64
CPC classification number: G06T7/001 , G06T2207/30141
Abstract: 在表示图案(包括衬底上形成的接线)的基准二进制图像中,对于具有与对应于接线区域的像素值相同的像素值的特定区域进行侵蚀,以获取侵蚀图像,并将保留于侵蚀图像中的特定区域进行放大至与该侵蚀几乎相同的程度,以获取侵蚀和放大的图像。随后,产生该侵蚀和放大图像与基准二进制图像之差的图像,作为表示接线区域的接线图像。由此,可容易地提取作为细微图案区域的接线区域。通过基于该接线图像,为接线区域和其他区域设定各个不同的缺陷检测灵敏度,并根据这些缺陷检测灵敏度,检测一检查图像中的缺陷,可适当地检测衬底上的图案缺陷。
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公开(公告)号:CN100440249C
公开(公告)日:2008-12-03
申请号:CN200510078586.4
申请日:2005-06-17
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
CPC classification number: G06T7/001
Abstract: 一种利用图像的区域分割的缺陷的检出,抑制由于缺陷的检出对象的形状引起的缺陷的检出处理量的增大。对具有多个颜色的区域的检查对象物进行摄像。根据颜色将通过摄像得到的检查对象物的彩色图像进行区域分割。从该区域分割结果获取表示特定的区域的形状的被检查图像。并且,通过对比被检查图像和比较图像,检测出有关特定区域的缺陷。
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公开(公告)号:CN100361142C
公开(公告)日:2008-01-09
申请号:CN200510068798.4
申请日:2005-05-11
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
IPC: G06K9/64
CPC classification number: G06K9/4652 , G06K9/34 , G06T7/11 , G06T7/90 , G06T2207/30141
Abstract: 本发明涉及一种基于色彩的彩色图像的区域分割技术,在对应于彩色图像的颜色的区域分割中,提高区域分割结果的可靠性。在规定的色彩空间内,设定表示对彩色物体进行摄像而得到的彩色图像取得的颜色范围的实际存在色区域(XR1~XR4)、和实际存在色区域之外的非实际存在色区域。而且,通过将对由于个体不同而产生色彩偏差的各个彩色物体进行摄像而得到的对象图像的像素的颜色分类到实际存在色区域(XR1~XR4)和上述非实际存在色区域中的任一个中,从而进行对象图像的区域分割。
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公开(公告)号:CN100565196C
公开(公告)日:2009-12-02
申请号:CN200510065123.4
申请日:2005-04-08
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
IPC: G01N21/956 , G06K9/20 , G06T1/00 , G06T7/00
CPC classification number: G06T7/001 , G06T2207/30141
Abstract: 在表示图案(包括衬底上形成的接线)的基准二进制图像中,对于具有与对应于接线区域的像素值相同的像素值的特定区域进行侵蚀,以获取侵蚀图像,并将保留于侵蚀图像中的特定区域进行放大至与该侵蚀几乎相同的程度,以获取侵蚀和放大的图像。随后,产生该侵蚀和放大图像与基准二进制图像之差的图像,作为表示接线区域的接线图像。由此,可容易地提取作为细微图案区域的接线区域。通过基于该接线图像,为接线区域和其他区域设定各个不同的缺陷检测灵敏度,并根据这些缺陷检测灵敏度,检测一检查图像中的缺陷,可适当地检测衬底上的图案缺陷。
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公开(公告)号:CN1719455A
公开(公告)日:2006-01-11
申请号:CN200510068798.4
申请日:2005-05-11
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
IPC: G06K9/64
CPC classification number: G06K9/4652 , G06K9/34 , G06T7/11 , G06T7/90 , G06T2207/30141
Abstract: 本发明涉及一种基于色彩的彩色图像的区域分割技术,在对应于彩色图像的颜色的区域分割中,提高区域分割结果的可靠性。在规定的色彩空间内,设定表示对彩色物体进行摄像而得到的彩色图像取得的颜色范围的实际存在色区域(XR1~XR4)、和实际存在色区域之外的非实际存在色区域。而且,通过将对由于个体不同而产生色彩偏差的各个彩色物体进行摄像而得到的对象图像的像素的颜色分类到实际存在色区域(XR1~XR4)和上述非实际存在色区域中的任一个中,从而进行对象图像的区域分割。
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