Patent search ap:("大日本网目版制造株式会社") AND inv:"盐田明仁" Page 1

1.

发明公开
基板处理装置和基板处理方法失效

公开(公告)号：CN101154566A

公开(公告)日：2008-04-02

申请号：CN200710161614.8

申请日：2007-09-27

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 川根旬平 , 盐田明仁 , 铃木聪 , 山本悟史

IPC: H01L21/00 , H01L21/02 , H01L21/30 , H01L21/306 , H01L21/67 , B08B3/02 , B08B7/04

Abstract: 本发明提供一种使用包含微泡或纳米微泡的处理液的基板处理装置和基板处理方法，能使微泡或纳米微泡对基板有效地发挥作用。微泡清洗处理部(40)通过对注入到被压送的清洗液中的氮气的流量进行调节，能够调节清洗液中所包含的微泡的尺寸。因而，能够对应于成为除去对象的微粒的尺寸，大量地供应尺寸最佳的微泡，能够使微泡对基板有效地发挥作用。

Patent Agency Ranking