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公开(公告)号：CN1228690C
公开(公告)日：2005-11-23
申请号：CN03131462.7
申请日：2003-05-15
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
IPC: G03F7/20 , H01L21/027
CPC classification number: B41J2/465
Abstract: 图像记录装置(1)具有用于夹持衬底(9)的平台单元(2)，具有多个辐射部件(40)的辐射单元(4)，和用于相对地移动的平台单元(2)和辐射单元(4)的机构。辐射部件(40)具有DMD，其具有一组用于调制反射光束的微反射镜，和一个微移动机构，用于相对于辐射单元(4)沿X方向移动的DMD，由此微观地沿X方向移动辐射部件(40)的辐射位置。辐射部件(40)还具有一个变焦透镜，由此在衬底(9)上放大和缩小DMD的一幅图像。通过平行地和独立地控制多个辐射部件(40)，图像记录装置(1)能够以高速写入精细图形。
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公开(公告)号：CN1258694C
公开(公告)日：2006-06-07
申请号：CN03110130.5
申请日：2003-04-11
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
CPC classification number: G03F7/70558 , G03F7/70283 , G03F7/70291 , G03F7/70358 , G03F7/70466
Abstract: 一种在感光材料上记录图案的图案记录装置包括：头部，装备具有调制反射光的微镜组的DMD，保持衬底的载物台以及彼此相对移动头部和载物台的机构。来自DMD的微镜的光分别被引导到衬底上的照射区域(61)。该照射区域(61)在衬底上方随衬底的移动而相对于头部移动。在头部内提供DMD以使照射区域(61)的排列方向相对于主扫描方向倾斜，和使得沿着在主扫描方向排列的两个相邻照射区域(61)之间的副扫描方向的中心一中心距离(L1)等于相对于副扫描方向衬底上的记录单元(620)的节距(P1)。这允许以每个记录单元(620)为中心多次曝光，因此实现高速图案记录，同时允许精确控制图案行距。
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公开(公告)号：CN1461972A
公开(公告)日：2003-12-17
申请号：CN03131462.7
申请日：2003-05-15
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
IPC: G03F7/20 , H01L21/027
CPC classification number: B41J2/465
Abstract: 图像记录装置(1)具有用于夹持衬底(9)的平台单元(2)，具有多个辐射部件(40)的辐射单元(4)，和用于相对地移动的平台单元(2)和辐射单元(4)的机构。辐射部件(40)具有DMD，其具有一组用于调制反射光束的微反射镜，和一个微移动机构，用于相对于辐射单元(4)沿X方向移动的DMD，由此微观地沿X方向移动辐射部件(40)的辐射位置。辐射部件(40)还具有一个变焦透镜，由此在衬底(9)上放大和缩小DMD的一幅图像。通过平行地和独立地控制多个辐射部件(40)，图像记录装置(1)能够以高速写入精细图形。
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公开(公告)号：CN1459662A
公开(公告)日：2003-12-03
申请号：CN03110130.5
申请日：2003-04-11
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
CPC classification number: G03F7/70558 , G03F7/70283 , G03F7/70291 , G03F7/70358 , G03F7/70466
Abstract: 一种在感光材料上记录图案的图案记录装置包括：头部，装备具有调制反射光的微镜组的DMD，保持衬底的载物台以及彼此相对移动头部和载物台的机构。来自DMD的微镜的光分别被引导到衬底上的照射区域(61)。该照射区域(61)在衬底上方随衬底的移动而相对于头部移动。在头部内提供DMD以使照射区域(61)的排列方向相对于主扫描方向倾斜，和使得沿着在主扫描方向排列的两个相邻照射区域(61)之间的副扫描方向的中心—中心距离(L1)等于相对于副扫描方向衬底上的记录单元(620)的节距(P1)。这允许以每个记录单元(620)为中心多次曝光，因此实现高速图案记录，同时允许精确控制图案行距。
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