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公开(公告)号：CN1228690C
公开(公告)日：2005-11-23
申请号：CN03131462.7
申请日：2003-05-15
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
IPC: G03F7/20 , H01L21/027
CPC classification number: B41J2/465
Abstract: 图像记录装置(1)具有用于夹持衬底(9)的平台单元(2)，具有多个辐射部件(40)的辐射单元(4)，和用于相对地移动的平台单元(2)和辐射单元(4)的机构。辐射部件(40)具有DMD，其具有一组用于调制反射光束的微反射镜，和一个微移动机构，用于相对于辐射单元(4)沿X方向移动的DMD，由此微观地沿X方向移动辐射部件(40)的辐射位置。辐射部件(40)还具有一个变焦透镜，由此在衬底(9)上放大和缩小DMD的一幅图像。通过平行地和独立地控制多个辐射部件(40)，图像记录装置(1)能够以高速写入精细图形。
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公开(公告)号：CN100454147C
公开(公告)日：2009-01-21
申请号：CN200610081709.4
申请日：2006-05-10
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70291 , G02B26/0833 , G03F7/70508 , G03F7/70558
Abstract: 本发明提供绘图设备和块数确定方法。该绘图设备包括DMD，用于空间调制从光源发出的光并将调制后的光束分别引导至二维排列在衬底上的多个照射区域。在扫描多个照射区域的同时，通过控制DMD来绘图。多个照射区域构成在列方向上排列的多个照射块，在每个照射块中，照射区域在行方向上排列。在DMD中，绘制信号顺序地输入到分别与多个照射块对应的多个镜块里待使用的镜块中。当绘图时，运算部件考虑向DMD输入绘制信号所需的时间和照射到衬底上的光量，确定能使扫描速度最大化的待使用镜块数。
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公开(公告)号：CN1461972A
公开(公告)日：2003-12-17
申请号：CN03131462.7
申请日：2003-05-15
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
IPC: G03F7/20 , H01L21/027
CPC classification number: B41J2/465
Abstract: 图像记录装置(1)具有用于夹持衬底(9)的平台单元(2)，具有多个辐射部件(40)的辐射单元(4)，和用于相对地移动的平台单元(2)和辐射单元(4)的机构。辐射部件(40)具有DMD，其具有一组用于调制反射光束的微反射镜，和一个微移动机构，用于相对于辐射单元(4)沿X方向移动的DMD，由此微观地沿X方向移动辐射部件(40)的辐射位置。辐射部件(40)还具有一个变焦透镜，由此在衬底(9)上放大和缩小DMD的一幅图像。通过平行地和独立地控制多个辐射部件(40)，图像记录装置(1)能够以高速写入精细图形。
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公开(公告)号：CN101174103A
公开(公告)日：2008-05-07
申请号：CN200710154755.7
申请日：2007-09-13
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
CPC classification number: G03F7/70791 , G03F7/70291
Abstract: 本发明提供一种图案描画装置及图案描画方法。对导入来自DMD的微反射镜组的光的感光材料上的照射区域组进行主扫描，对感光材料上的条纹区域照射光，重复主扫描并对在副扫描方向上局部重叠的多个条纹区域依次照射光，从而在感光材料上描画图案。此时，先行照射区域组和后续照射区域组重叠通过感光材料上的重叠区域时，使微反射镜组中对应于重叠区域的一部分微反射镜无效，使得先行照射区域组和后续照射区域组通过重叠区域的各位置的累计时间比先行照射区域组或后续照射区域组通过非重叠区域的各位置的时间短，从而使重叠区域的感光和非重叠区域的感光程度相同。
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公开(公告)号：CN1873540A
公开(公告)日：2006-12-06
申请号：CN200610081709.4
申请日：2006-05-10
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70291 , G02B26/0833 , G03F7/70508 , G03F7/70558
Abstract: 本发明提供绘图设备和块数确定方法。该绘图设备包括DMD，用于空间调制从光源发出的光并将调制后的光束分别引导至二维排列在衬底上的多个照射区域。在扫描多个照射区域的同时，通过控制DMD来绘图。多个照射区域构成在列方向上排列的多个照射块，在每个照射块中，照射区域在行方向上排列。在DMD中，绘制信号顺序地输入到分别与多个照射块对应的多个镜块里待使用的镜块中。当绘图时，运算部件考虑向DMD输入绘制信号所需的时间和照射到衬底上的光量，确定能使扫描速度最大化的待使用镜块数。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1459662A
公开(公告)日：2003-12-03
申请号：CN03110130.5
申请日：2003-04-11
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
CPC classification number: G03F7/70558 , G03F7/70283 , G03F7/70291 , G03F7/70358 , G03F7/70466
Abstract: 一种在感光材料上记录图案的图案记录装置包括：头部，装备具有调制反射光的微镜组的DMD，保持衬底的载物台以及彼此相对移动头部和载物台的机构。来自DMD的微镜的光分别被引导到衬底上的照射区域(61)。该照射区域(61)在衬底上方随衬底的移动而相对于头部移动。在头部内提供DMD以使照射区域(61)的排列方向相对于主扫描方向倾斜，和使得沿着在主扫描方向排列的两个相邻照射区域(61)之间的副扫描方向的中心—中心距离(L1)等于相对于副扫描方向衬底上的记录单元(620)的节距(P1)。这允许以每个记录单元(620)为中心多次曝光，因此实现高速图案记录，同时允许精确控制图案行距。
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公开(公告)号：CN100594432C
公开(公告)日：2010-03-17
申请号：CN200710154755.7
申请日：2007-09-13
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
CPC classification number: G03F7/70791 , G03F7/70291
Abstract: 本发明提供一种图案描画装置及图案描画方法。对导入来自DMD的微反射镜组的光的感光材料上的照射区域组进行主扫描，对感光材料上的条纹区域照射光，重复主扫描并对在副扫描方向上局部重叠的多个条纹区域依次照射光，从而在感光材料上描画图案。此时，先行照射区域组和后续照射区域组重叠通过感光材料上的重叠区域时，使微反射镜组中对应于重叠区域的一部分微反射镜无效，使得先行照射区域组和后续照射区域组通过重叠区域的各位置的累计时间比先行照射区域组或后续照射区域组通过非重叠区域的各位置的时间短，从而使重叠区域的感光和非重叠区域的感光程度相同。
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公开(公告)号：CN100451837C
公开(公告)日：2009-01-14
申请号：CN200510066854.0
申请日：2005-04-29
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
Inventor： 城田浩行
IPC: G03F7/20 , H01L21/027
Abstract: 一种图形描绘装置和图形描绘方法，与DMD的微小反射镜对应的光照射区域(61)的排列相对设定在基板上的描绘单元(620)的排列而倾斜，使光照射区域组相对描绘单元组而在主扫描方向上相对移动，由此进行图形的描绘，在此情况下，在大致主扫描方向上相互邻接的2个光照射区域(61)中，相对于副扫描方向的中心间的距离等于描绘单元(620)的描绘间距，并且相对于主扫描方向的中心间的距离为描绘间距的a倍，在使光照射区域组相对移动描绘间距的n倍(其中，n表示3或其以上的整数)的距离的期间，一次控制对各光照射区域(61)的光照射的ON/OFF。在此，(a2+1)与n互为素数，由此可以高分辨率、高速地描绘适当的图形。
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公开(公告)号：CN1258694C
公开(公告)日：2006-06-07
申请号：CN03110130.5
申请日：2003-04-11
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
CPC classification number: G03F7/70558 , G03F7/70283 , G03F7/70291 , G03F7/70358 , G03F7/70466
Abstract: 一种在感光材料上记录图案的图案记录装置包括：头部，装备具有调制反射光的微镜组的DMD，保持衬底的载物台以及彼此相对移动头部和载物台的机构。来自DMD的微镜的光分别被引导到衬底上的照射区域(61)。该照射区域(61)在衬底上方随衬底的移动而相对于头部移动。在头部内提供DMD以使照射区域(61)的排列方向相对于主扫描方向倾斜，和使得沿着在主扫描方向排列的两个相邻照射区域(61)之间的副扫描方向的中心一中心距离(L1)等于相对于副扫描方向衬底上的记录单元(620)的节距(P1)。这允许以每个记录单元(620)为中心多次曝光，因此实现高速图案记录，同时允许精确控制图案行距。
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公开(公告)号：CN1716099A
公开(公告)日：2006-01-04
申请号：CN200510066854.0
申请日：2005-04-29
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
Inventor： 城田浩行
IPC: G03F7/20 , H01L21/027
Abstract: 一种图形描绘装置和图形描绘方法，与DMD的微小反射镜对应的光照射区域(61)的排列相对设定在基板上的描绘单元(620)的排列而倾斜，使光照射区域组相对描绘单元组而在主扫描方向上相对移动，由此进行图形的描绘，在此情况下，在大致主扫描方向上相互邻接的2个光照射区域(61)中，相对于副扫描方向的中心间的距离等于描绘单元(620)的描绘间距，并且相对于主扫描方向的中心间的距离为描绘间距的a倍，在使光照射区域组相对移动描绘间距的n倍(其中，n表示3或其以上的整数)的距离的期间，一次控制对各光照射区域(61)的光照射的ON/OFF。在此，(a2+1)与n互为素数，由此可以高分辨率、高速地描绘适当的图形。
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