公开(公告)号：CN1638033A

公开(公告)日：2005-07-13

申请号：CN200510003993.9

申请日：2005-01-07

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 山本悟史 ,  志摩康正

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/02 ,  H01L21/302 ,  H01L21/027 ,  B08B3/00 ,  B08B5/00 ,  C23G3/00

Abstract: 本发明提供一种基板处理装置，设置有在内部配置了处理装置的处理室，能够使装置小型化而且能够降低处理液的使用量。该基板处理装置包括：具有基板运入口(12)和基板运出口(14)的密闭型的处理室(10)；配置在处理室的内部的处理装置(16、18)；运送基板(W)的辊式运送机(20)，处理室的长度比基板运送方向上的尺寸小。该装置还设置有向处理室内供给清洁用空气的供气管(28)和从处理室内排出清洁用空气的排气管(30)，将处理室的内部环境与外部环境隔绝开。

公开(公告)号：CN100350555C

公开(公告)日：2007-11-21

申请号：CN200510003993.9

申请日：2005-01-07

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 山本悟史 ,  志摩康正

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/02 ,  H01L21/302 ,  H01L21/027 ,  B08B3/00 ,  B08B5/00 ,  C23G3/00

Abstract: 本发明提供一种基板处理装置，设置有在内部配置了处理装置的处理室，能够使装置小型化而且能够降低处理液的使用量。该基板处理装置包括：具有基板运入口(12)和基板运出口(14)的密闭型的处理室(10)；配置在处理室的内部的处理装置(16、18)；运送基板(W)的辊式运送机(20)，处理室的长度比基板运送方向上的尺寸小。该装置还设置有向处理室内供给清洁用空气的供气管(28)和从处理室内排出清洁用空气的排气管(30)，将处理室的内部环境与外部环境隔绝开。