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公开(公告)号：CN115280237A
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：CN202180019628.4
申请日：2021-03-17
Applicant: 大日本印刷株式会社
Inventor： 浴冈秀明 , 三好建也 , 今野冬木
IPC: G03F1/40 , G03F1/54
Abstract: 本发明提供一种光掩模坯料，其具有透明基板、以及配置于上述透明基板的一个面且包含铬系材料的遮光膜，上述遮光膜的薄层电阻为103Ω/□以上且107Ω/□以下。
