液滴涂布装置
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101460257A

    公开(公告)日:2009-06-17

    申请号:CN200780020779.1

    申请日:2007-04-16

    CPC classification number: H01L21/6715 B41J3/28

    Abstract: 一种液滴涂布装置,包括:具有供基板(10)进行载放的载放面(11a)的基座(11)、以可相对于基座(11)沿箭头A方向移动的形态安装在基座(11)上的臂部(4)、以及以可沿箭头B方向移动的形态安装在上述臂部(4)上并朝载放在上述载放面(11a)上的上述基板(10)排出液滴的多个液滴排出部(6)。上述液滴排出部(6)安装在上述臂部(4)的第一横梁部(41)的安装面(41b)以及上述臂部(4)的第二横梁部(42)的安装面(42b)上。

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