公开(公告)号：CN104591079A

公开(公告)日：2015-05-06

申请号：CN201410736526.6

申请日：2014-12-04

Applicant: 复旦大学

Inventor： 纪新明 ,  黄涛 ,  李洁惠

IPC: B81C1/00

Abstract: 本发明涉及表面微加工技术，公开了一种微米管道的加工方法。本发明中，包含以下步骤：提供一衬底，其中，衬底上具有周期性点阵结构的孔；在衬底上淀积牺牲层薄膜；在牺牲层薄膜上淀积结构层薄膜；去除牺牲层薄膜，获得结构层薄膜卷曲成的微米管道，其中，微米管道的外壁上具有从衬底上复制的周期性凸起阵列。这样，使得所制造的微米管道的外壁上具有周期性凸起阵列，具有更加良好的光学性质。

公开(公告)号：CN104591079B

公开(公告)日：2019-11-12

申请号：CN201410736526.6

申请日：2014-12-04

Applicant: 复旦大学

Inventor： 纪新明 ,  黄涛 ,  李洁惠

IPC: B81C1/00

Abstract: 本发明涉及表面微加工技术，公开了一种微米管道的加工方法。本发明中，包含以下步骤：提供一衬底，其中，衬底上具有周期性点阵结构的孔；在衬底上淀积牺牲层薄膜；在牺牲层薄膜上淀积结构层薄膜；去除牺牲层薄膜，获得结构层薄膜卷曲成的微米管道，其中，微米管道的外壁上具有从衬底上复制的周期性凸起阵列。这样，使得所制造的微米管道的外壁上具有周期性凸起阵列，具有更加良好的光学性质。

公开(公告)号：CN104555908A

公开(公告)日：2015-04-29

申请号：CN201410736522.8

申请日：2014-12-04

Applicant: 复旦大学

Inventor： 纪新明 ,  黄涛 ,  李洁惠

IPC: B81C99/00 ,  F16F1/00

Abstract: 本发明涉及微纳结构的加工技术，公开了一种微弹簧的加工方法。本发明中，微弹簧的加工方法包含以下步骤：提供一洁净硅片作为衬底；在衬底上淀积图形化牺牲层，其中，牺牲层的材料为非定形碳；在牺牲层和未淀积牺牲层的衬底上淀积薄膜，衬底上的薄膜形成固定锚点，牺牲层上的薄膜形成结构层；其中，结构层为条带状，且靠近固定锚点的厚度大于远离固定锚点的厚度；干法刻蚀掉牺牲层，获取结构层卷曲形成的微弹簧。利用非定型碳作为牺牲层的材料，并结合干法刻蚀牺牲层释放微弹簧，使得制造出来的微弹簧不坍塌，便于测试与应用。