一种微米管道的加工方法

    公开(公告)号:CN104591079A

    公开(公告)日:2015-05-06

    申请号:CN201410736526.6

    申请日:2014-12-04

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明涉及表面微加工技术,公开了一种微米管道的加工方法。本发明中,包含以下步骤:提供一衬底,其中,衬底上具有周期性点阵结构的孔;在衬底上淀积牺牲层薄膜;在牺牲层薄膜上淀积结构层薄膜;去除牺牲层薄膜,获得结构层薄膜卷曲成的微米管道,其中,微米管道的外壁上具有从衬底上复制的周期性凸起阵列。这样,使得所制造的微米管道的外壁上具有周期性凸起阵列,具有更加良好的光学性质。

    光电检测集成芯片
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104576631B

    公开(公告)日:2020-03-17

    申请号:CN201410742805.3

    申请日:2014-12-05

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明涉及可见光通信领域,公开了一种光电检测集成芯片。本发明中,包含内部集成了光电信号处理电路的印刷电路板PCB和光电二极管PD阵列,其中,PD阵列位于PCB上,PD阵列中的每一个PD上都具有一个正极和一个负极,PCB上具有与正极和负极一一对应的正极焊盘和负极焊盘,且正极与正极焊盘电连接,负极与负极焊盘电连接。与现有技术相比,直接将PD裸片与PCB中的光电信号处理电路电连接,降低了寄生电阻和寄生电感效应,从而提高了光电信号处理电路的灵敏度,进而提高了整个光电检测集成芯片的性能,而且工艺简单,成本低廉,成品率高,适合产业化生产。

    光电检测集成芯片
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104576631A

    公开(公告)日:2015-04-29

    申请号:CN201410742805.3

    申请日:2014-12-05

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明涉及可见光通信领域,公开了一种光电检测集成芯片。本发明中,包含内部集成了光电信号处理电路的印刷电路板PCB和光电二极管PD阵列,其中,PD阵列位于PCB上,PD阵列中的每一个PD上都具有一个正极和一个负极,PCB上具有与正极和负极一一对应的正极焊盘和负极焊盘,且正极与正极焊盘电连接,负极与负极焊盘电连接。与现有技术相比,直接将PD裸片与PCB中的光电信号处理电路电连接,降低了寄生电阻和寄生电感效应,从而提高了光电信号处理电路的灵敏度,进而提高了整个光电检测集成芯片的性能,而且工艺简单,成本低廉,成品率高,适合产业化生产。

    有机磷检测仪
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104535498B

    公开(公告)日:2020-08-28

    申请号:CN201410740260.2

    申请日:2014-12-05

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明涉及分析化学技术领域,公开了一种有机磷检测仪。本发明的有机磷检测仪通过将紫外LED光源、溶液腔和光电检测芯片依次排列,并保持其中心位于同一光轴上。其中,主板恒功率驱动紫外LED光源发光,光电检测芯片检测紫外LED光源透过溶液腔发射的光信号,并转换成电信号;主板接收从光电检测芯片输出的电信号,并计算出待检测液体的有机磷浓度传送至上位APP端。本发明的有机磷检测仪基于光电检测芯片进行有机磷检测,其结构简单,不含滤光片、透镜、光栅和光学增敏系统等,体积小,携带方便,可以制备成一次性使用产品,避免交叉感染。

    一种微米管道的加工方法

    公开(公告)号:CN104591079B

    公开(公告)日:2019-11-12

    申请号:CN201410736526.6

    申请日:2014-12-04

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明涉及表面微加工技术,公开了一种微米管道的加工方法。本发明中,包含以下步骤:提供一衬底,其中,衬底上具有周期性点阵结构的孔;在衬底上淀积牺牲层薄膜;在牺牲层薄膜上淀积结构层薄膜;去除牺牲层薄膜,获得结构层薄膜卷曲成的微米管道,其中,微米管道的外壁上具有从衬底上复制的周期性凸起阵列。这样,使得所制造的微米管道的外壁上具有周期性凸起阵列,具有更加良好的光学性质。

    一种微弹簧的加工方法
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104555908A

    公开(公告)日:2015-04-29

    申请号:CN201410736522.8

    申请日:2014-12-04

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明涉及微纳结构的加工技术,公开了一种微弹簧的加工方法。本发明中,微弹簧的加工方法包含以下步骤:提供一洁净硅片作为衬底;在衬底上淀积图形化牺牲层,其中,牺牲层的材料为非定形碳;在牺牲层和未淀积牺牲层的衬底上淀积薄膜,衬底上的薄膜形成固定锚点,牺牲层上的薄膜形成结构层;其中,结构层为条带状,且靠近固定锚点的厚度大于远离固定锚点的厚度;干法刻蚀掉牺牲层,获取结构层卷曲形成的微弹簧。利用非定型碳作为牺牲层的材料,并结合干法刻蚀牺牲层释放微弹簧,使得制造出来的微弹簧不坍塌,便于测试与应用。

    有机磷检测仪
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104535498A

    公开(公告)日:2015-04-22

    申请号:CN201410740260.2

    申请日:2014-12-05

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明涉及分析化学技术领域,公开了一种有机磷检测仪。本发明的有机磷检测仪通过将紫外LED光源、溶液腔和光电检测芯片依次排列,并保持其中心位于同一光轴上。其中,主板恒功率驱动紫外LED光源发光,光电检测芯片检测紫外LED光源透过溶液腔发射的光信号,并转换成电信号;主板接收从光电检测芯片输出的电信号,并计算出待检测液体的有机磷浓度传送至上位APP端。本发明的有机磷检测仪基于光电检测芯片进行有机磷检测,其结构简单,不含滤光片、透镜、光栅和光学增敏系统等,体积小,携带方便,可以制备成一次性使用产品,避免交叉感染。

Patent Agency Ranking