公开(公告)号：CN116879656A

公开(公告)日：2023-10-13

申请号：CN202310850171.2

申请日：2023-07-12

Applicant: 复旦大学

Inventor： 马宏平 ,  陈文捷

IPC: G01R31/00 ,  G01R1/04 ,  G01M11/00 ,  G01M11/02 ,  G01N21/33 ,  G01N21/01 ,  G01N3/20 ,  G01N3/02

Abstract: 本发明涉及一种原位光电探测系统及方法，用于对待测光电器件进行性能测试，该系统包括测试腔、可升降探针台、用于加热测试腔中环境的加热装置、光探头和光电测试仪器；所述可升降探针台包括设置在所述测试腔腔体内的可升降台体、固定装置和探针阵列，以及与所述探针阵列连接的探针控制装置；所述固定装置设置在可升降台体上表面，用于对待测光电器件进行固定，并通过所述可升降台体升降控制使所述待测光电器件与所述探针阵列接触；所述光探头悬于可升降台体上方，与设置在测试腔腔外的光电测试仪器连接，进行光电探测。与现有技术相比，本发明具有光电器件测试重复性好、效率高和多功能的优点。