公开(公告)号：CN116793252A

公开(公告)日：2023-09-22

申请号：CN202310743961.0

申请日：2023-06-24

Applicant: 复旦大学

Inventor： 张祥朝 ,  陈雨诺 ,  郎威 ,  陈思涵 ,  王成卓

IPC: G01B11/24 ,  G01N21/01 ,  G01N21/84

Abstract: 本发明属于精密测量技术领域，具体为一种基于双通道差动的高灵敏度三维形貌恢复方法。本发明在传统显微成像系统基础上，在物镜和管镜之间增加一个分光棱镜，额外分出的光路上配备与原光路上一致的管镜和相机，并使管镜到相机的距离与原光路略微不同，在驱动物镜对待测物体进行轴向扫描过程中，基于两个相机捕获的图像分别计算每个像素对应的对焦评价函数曲线，并通过来自两个相机的对焦评价函数曲线作差获得在记录深度附近变化更剧烈的评价函数曲线，以提高系统的灵敏度。本发明通过硬件固定对焦评价函数的差分量，可提高灵敏度，同时保证扫描的高效性和扫描方案设置的灵活性。

公开(公告)号：CN118442940A

公开(公告)日：2024-08-06

申请号：CN202410554244.8

申请日：2024-05-07

Applicant: 江淮前沿技术协同创新中心 ,  复旦大学

Inventor： 张祥朝 ,  郎威 ,  陈思涵 ,  向炯榶

IPC: G01B11/24 ,  G01B11/30

Abstract: 本发明提供了一种基于高陡度空间各向异性对焦判据的三维变焦测量方法，属于精密测量技术领域，用大光瞳显微物镜接收经高陡度被测物体散射的光信号，利用高精度导轨与成像系统实现被测表面的定位，根据被测表面模型及位姿确定自适应权重因子。最后通过图像低秩优化算法解决弱散射图像的退化问题，进一步结合对焦判据计算各点所对应的对焦曲线，通过寻找最佳对焦位置完成被测表面三维形貌的测量。本发明采用上述的一种基于高陡度空间各向异性对焦判据的三维变焦测量方法，可以解决传统聚焦测量法难以对大陡度被测物体进行测量的问题。