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公开(公告)号：CN109742006A
公开(公告)日：2019-05-10
申请号：CN201811649281.8
申请日：2018-12-30
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于透射电子显微镜技术领域，具体为一种适用于高频信号传输的原位低温透射电子显微镜样品杆。包括杜瓦罐，过渡仓，样品杆，样品杆头，同轴电缆；同轴电缆采用四根同轴导线，在无氧铜内芯与外杆间的空隙引出，通过法兰和真空接头引出到外部，实现0~4 GHz高频信号的低损传输；在内芯前端设计有加热电阻片，在固定样品附近设计有温度传感器，通过外接温度控制器形成对样品处温度的闭环控制；末端的杜瓦罐设计成水平圆柱形，能减小样品杆旋转时重心改变对样品位置精度的影响。本发明实现100 K到300 K的连续变温调控，支持通入高频电信号，配合透射电子显微镜实现原位调控样品的温度场、电场和磁场，做到多场耦合的原位测试。
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公开(公告)号：CN118380301A
公开(公告)日：2024-07-23
申请号：CN202410430563.8
申请日：2024-04-11
Applicant: 复旦大学
IPC: H01J37/244 , G01T1/20 , G01T1/208
Abstract: 本发明涉及一种多通道带电粒子探测器与探测方法，该探测器包括：闪烁体阵列，用于将入射带电粒子转化为光子，其由多个投影为正方形的闪烁体单体、以及填充于闪烁体单元之间空间的隔离层组成；具有多个探测通道并与闪烁体阵列直接接触的光电倍增管，其用于将闪烁体阵列发出的光子转化为电子，所述闪烁体阵列与光电倍增管之间的缝隙填充有光耦合层；电源和放大器电路模块，其用于为所述光电倍增管提供电源，并用于将各探测通道的电流信号放大并输出。相比于多光导管的Everhart‑Thornley探测器，本发明可降低结构体积和复杂度，同时，通过调整闪烁体单元形状和隔离层和光耦合层材料，可优化通道间串扰率和收集率。
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公开(公告)号：CN109270099B
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN201811448585.8
申请日：2018-11-30
Applicant: 复旦大学
IPC: G01N23/22
Abstract: 本发明属于电子显微镜测试技术领域，具体为一种直流至微波频率的透射电镜原位高频电学测试芯片，包括硅基片和绝缘层，以及在硅基片正面绝缘层上的金属电路；所述金属电路至少包含两个金属电极，分别用于接地和信号输入；金属电极靠近样品一侧用50–75Ω的并联电阻相连，以实现与微波信号输入端的阻抗匹配；正面绝缘层总厚度1.5–5.0μm，使得电极与硅片的寄生电容小于1pF；金属电极延伸至用于放置样品的窗口上或窗口外0–20μm；信号输入电极近样品端引出有测量电极，用于信号的原位测量。采用本发明的透射电镜原位测试芯片，可以实现0–6GHz内的任意波形信号下的原位测试，拓展了原位电镜的应用范围。
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公开(公告)号：CN107576541A
公开(公告)日：2018-01-12
申请号：CN201710602961.3
申请日：2017-07-22
Applicant: 复旦大学
IPC: G01N1/28
Abstract: 本发明属于纳米功能材料技术领域，具体为一种透射电镜的原位加电砷化铟/锑化镓超晶格半导体样品的制备方法。本发明由高温导电粘结胶制备、超晶格体材料透射样品和原位电极制备三部分组成。砷化铟/锑化镓化合物超晶格半导体通过导电胶对粘、机械减薄等过程，制备出适合透射电镜表征测试的样品，之后利用绝缘漆包线使之与四电极透射电镜样品台连接，即可开展透射电镜原位加电测试。砷化铟/锑化镓超晶格半导体作为经典实用的红外光电探测器件，研究其微观结构与载流子性质之间的物理机理和加电工作状态下载流子输运机理有助于红外探测器、量子级联激光器等光电器件的设计。
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公开(公告)号：CN105679631A
公开(公告)日：2016-06-15
申请号：CN201610061855.4
申请日：2016-01-29
Applicant: 复旦大学
CPC classification number: H01J37/20 , G01N23/2204
Abstract: 本发明属于透射电子显微镜配件技术领域，具体为一种透射电镜原位加电极样品台。本发明样品台由金属电极、样品槽、漆包线、样品观察窗和样品压环五部分组成；样品台后端接有杜瓦罐，可以加液氮实现从100K到373K温度区间内的控温；将样品台放入洛伦兹透射电镜中，又可以实现不同温度下原位磁场耦合的观测环境，拓展洛伦兹成像模式的观察范围。本发明能够在原子尺度的分辨率下观察样品并进行不同温度下电学和磁学的实时观测，原位揭示待测单元的电学磁学性能和纳米微观结构之间的关系和变化规律。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119943634A
公开(公告)日：2025-05-06
申请号：CN202411907826.6
申请日：2024-12-24
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明涉及一种基于磁密封的惰性气氛转移透射电镜样品杆，包括：具有第一空腔的手握把；与所述手握把相连并具有沿轴向的第二空腔的外杆，所述第二空腔与所述第一空腔相连通；滑动设置在所述第二空腔中的内芯；分别安装在内芯的前后两端的样品载台与内磁件，所述内磁件置于所述第一空腔内，所述样品载台用于安放被测样品；以及能沿所述手握把外部移动并与所述内磁件产生磁吸力的外磁件；当所述样品载台随内芯滑动伸入所述第二空腔时，所述样品载台的前端能与所述外杆的前端密封接触，使得所述第一空腔和第二空腔形成密封环境。与现有技术相比，本发明集成了样品装载、精密磁力伸缩及全面密封，实现了样品从制样到完全密封状态下的稳定转移以及即时显微分析，尤其适用于高活性样品的可控气氛操作。
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公开(公告)号：CN118604015A
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202410448190.7
申请日：2024-04-15
Applicant: 复旦大学
IPC: G01N23/00
Abstract: 本发明涉及一种降低多束带电粒子束成像信号串扰的扫描成像方法，包括以下步骤：先将样品置于可移动的样品台上，采用多束带电粒子源进行扫描检测；当多束带电粒子源完成一帧扫描后，通过样品台移动切换扫描位置，进行下一帧的扫描成像，控制相邻两帧扫描成像区域部分交叠，选取特征形貌进行图像拼接，如此重复不断扫描并拼接成像，完成对整个样品的整体成像。与现有技术相比，本发明的降低多束带电粒子束成像信号串扰的方法能够增大带电粒子束在整个仪器设备光学系统中的传播间距，降低发生串扰的概率。
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公开(公告)号：CN107576541B
公开(公告)日：2020-05-12
申请号：CN201710602961.3
申请日：2017-07-22
Applicant: 复旦大学
IPC: G01N1/28
Abstract: 本发明属于纳米功能材料技术领域，具体为一种透射电镜的原位加电砷化铟/锑化镓超晶格半导体样品的制备方法。本发明由高温导电粘结胶制备、超晶格体材料透射样品和原位电极制备三部分组成。砷化铟/锑化镓化合物超晶格半导体通过导电胶对粘、机械减薄等过程，制备出适合透射电镜表征测试的样品，之后利用绝缘漆包线使之与四电极透射电镜样品台连接，即可开展透射电镜原位加电测试。砷化铟/锑化镓超晶格半导体作为经典实用的红外光电探测器件，研究其微观结构与载流子性质之间的物理机理和加电工作状态下载流子输运机理有助于红外探测器、量子级联激光器等光电器件的设计。
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公开(公告)号：CN109270099A
公开(公告)日：2019-01-25
申请号：CN201811448585.8
申请日：2018-11-30
Applicant: 复旦大学
IPC: G01N23/22
CPC classification number: G01N23/22
Abstract: 本发明属于电子显微镜测试技术领域，具体为一种直流至微波频率的透射电镜原位高频电学测试芯片，包括硅基片和绝缘层，以及在硅基片正面绝缘层上的金属电路；所述金属电路至少包含两个金属电极，分别用于接地和信号输入；金属电极靠近样品一侧用50–75Ω的并联电阻相连，以实现与微波信号输入端的阻抗匹配；正面绝缘层总厚度1.5–5.0μm，使得电极与硅片的寄生电容小于1pF；金属电极延伸至用于放置样品的窗口上或窗口外0–20μm；信号输入电极近样品端引出有测量电极，用于信号的原位测量。采用本发明的透射电镜原位测试芯片，可以实现0–6GHz内的任意波形信号下的原位测试，拓展了原位电镜的应用范围。
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公开(公告)号：CN105679631B
公开(公告)日：2018-08-07
申请号：CN201610061855.4
申请日：2016-01-29
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于透射电子显微镜配件技术领域,具体为种透射电镜原位加电极样品台。本发明样品台由金属电极、样品槽、漆包线、样品观察窗和样品压环五部分组成;样品台后端接有杜瓦罐,可以加液氮实现从100K到373K温度区间内的控温;将样品台放入洛伦兹透射电镜中,又可以实现不同温度下原位磁场耦合的观测环境,拓展洛伦兹成像模式的观察范围。本发明能够在原子尺度的分辨率下观察样品并进行不同温度下电学和磁学的实时观测,原位揭示待测单元的电学磁学性能和纳米微观结构之间的关系和变化规律。
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