基板电镀过程追溯方法、装置以及存储介质

    公开(公告)号:CN118469587A

    公开(公告)日:2024-08-09

    申请号:CN202410273979.3

    申请日:2024-03-11

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本申请提出的一种基板电镀过程追溯方法、装置以及存储介质,其通过挂架扫码枪扫描挂架装置上的挂架信息码,得到挂架信息;通过基板扫码枪对挂架装置夹持的基板上的基板信息码,得到基板信息;将挂架信息和基板信息绑定并生成基板的电镀履历条目;获取基板的电镀生产信息,将电镀生产信息录入基板的电镀履历条目;对基板的电镀履历条目进行存储得到包含挂架信息、基板信息以及电镀生产信息的电镀履历条目,通过查询该电镀履历条目即可追溯基板上机生产时与其对应挂架的配对信息,便于追溯单片基板电镀过程信息及履历,提高异常追溯的效率和准确性。

    夹持机构、钻孔机及基板上下料方式

    公开(公告)号:CN117697857A

    公开(公告)日:2024-03-15

    申请号:CN202311568596.0

    申请日:2023-11-22

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明公开了一种夹持机构、钻孔机及基板上下料方式,夹持机构用于夹持基板,夹持机构包括第一驱动组件和夹持组件,夹持组件包括相连接的第二驱动组件和夹持件,第二驱动组件与第一驱动组件连接,第一驱动组件用于带动第二驱动组件沿第一方向移动以使第二驱动组件靠近或远离基板,第二驱动组件用于带动夹持件沿第二方向移动以及带动夹持件绕第二方向转动,夹持件包括沿第三方向凸出设置且用于夹持基板的板面的夹持部,第一方向与第二方向和第三方向垂直,第一方向与基板的板面垂直。本发明实施例的夹持机构、钻孔机及基板上下料方式,基板的板边固定稳固,基板无需贴胶带固定板边,可以避免因板边拱起而导致的钻孔偏位及断刀问题。

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