公开(公告)号：CN107760093A

公开(公告)日：2018-03-06

申请号：CN201710905974.8

申请日：2017-09-29

Applicant: 复旦大学

Inventor： 黄高山 ,  王定润 ,  梅永丰 ,  赵宇婷

IPC: C09D11/03 ,  C09D11/02 ,  C23C16/40 ,  C23C16/455 ,  C23C16/01

CPC classification number: C09D11/03 ,  C09D11/02 ,  C23C16/01 ,  C23C16/407 ,  C23C16/45525

Abstract: 本发明属于印刷电子技术领域，具体为一种ZnO纳米薄膜半导体油墨及其制备方法和应用。本发明制备步骤为：首先利用原子层沉积的方法在多孔聚氨酯模板表面生长ZnO纳米薄膜；达到设定的沉积次数后，将包覆有ZnO纳米薄膜的多孔聚氨酯模板进行高温热处理，得到ZnO纳米薄膜；将该薄膜配制成半导体油墨，结合丝网印刷工艺，制备各种电学器件。本发明工艺简单，重复性好，薄膜产量高，配合溶液化的印刷工艺，用于集成电子电路的大面积、低成本制造。