公开(公告)号：CN118448504A

公开(公告)日：2024-08-06

申请号：CN202410425673.5

申请日：2024-04-10

Applicant: 复旦大学

Inventor： 黄海 ,  李湘 ,  王建禄 ,  褚君浩

IPC: H01L31/113 ,  H01L31/18 ,  C23C28/00 ,  C23C16/50 ,  C23C16/40 ,  C23C16/455 ,  C23C16/30 ,  C23C14/30 ,  C23C14/14

Abstract: 本发明属于光电探测器技术领域，具体为一种基于隧穿势垒控制的紫外光电探测器及制备方法。本发明紫外光电探测器，其中光吸收层与电荷传输层分离，并在二者中间插入一种隧穿介质层，通过两层之间的电荷隧穿势垒高度控制器件的光谱响应；其结构自下而上依次为：衬底、栅介质层、电荷储存层、势垒层、电荷传输层、金属电极；电荷储存层与电荷传输层之间被势垒层介质隔开；吸收层与电荷传输层绝缘；金属电极与电荷传输层形成欧姆接触，且不与电荷储存层接触。本发明利用隧穿势垒高度调控器件光谱响应，避免对宽禁带半导体的依赖，丰富材料的选择；光吸收与电荷传输分离，可提高器件光增益，提高器件探测灵敏度。