公开(公告)号：CN100476020C

公开(公告)日：2009-04-08

申请号：CN200610148157.4

申请日：2006-12-28

Applicant: 复旦大学

Inventor： 许宁 ,  胡巍 ,  沈轶群 ,  张廷卫

IPC: C23C16/32 ,  C23C16/02 ,  C23C16/448 ,  C23C16/503 ,  C23C16/52

Abstract: 本发明属薄膜制备技术领域，具体为一种直流放电活性原子束喷射制备氮化钛纳米薄膜的方法。该方法利用一台弧热等离子束源来分解甲烷和氮气，出射离子束由高密度的中性氮原子和甲基构成，强度为1019-1020原子/弧度.秒。出射束粒子达到衬底，使得在低衬底温度(小于200摄氏度)合成氮化碳薄膜。合成的薄膜由致密的为21-50纳米的球形晶粒构成，晶粒主要是β-C3N4、石墨相C3N4和CNx结构。

公开(公告)号：CN1986878A

公开(公告)日：2007-06-27

申请号：CN200610148157.4

申请日：2006-12-28

Applicant: 复旦大学

Inventor： 许宁 ,  胡巍 ,  沈轶群 ,  张廷卫

IPC: C23C16/32 ,  C23C16/02 ,  C23C16/448 ,  C23C16/503 ,  C23C16/52

Abstract: 本发明属薄膜制备技术领域，具体为一种直流放电活性原子束喷射制备氮化钛纳米薄膜的方法。该方法利用一台弧热等离子束源来分解甲烷和氮气，出射离子束由高密度的中性氮原子和甲基构成，强度为1019－1020原子/弧度.秒。出射束粒子达到衬底，使得在低衬底温度(小于200摄氏度)合成氮化碳薄膜。合成的薄膜由致密的为21－50纳米的球形晶粒构成，晶粒主要是β－C3N4、石墨相C3N4和CNx结构。