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公开(公告)号：CN104931825A
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201510323769.1
申请日：2015-06-13
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于真空光学、电学测量技术领域。具体为一种用于器件光学和电学测量以及真空监测的集成设备。本发明集成设备的主体为一气闭壳体，在壳体上安装气体止回阀、电学测试探针、透明窗和负压表等。本发明可以实现以下功能：借助手套箱的过渡仓或真空泵对器件进行有效地真空储存；持在真空环境下的器件可以轻便运输；同时安装在壳体上的电学测试探针和透明窗允许对内部储存的器件进行真空光学和电学测试；通过负压表可以实时监测壳体内部的气压状况。
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