公开(公告)号：CN107352518A

公开(公告)日：2017-11-17

申请号：CN201710603344.5

申请日：2017-07-22

Applicant: 复旦大学

Inventor： 许宁 ,  徐卓器 ,  关雷雷 ,  巫志诚

IPC: C01B21/082

CPC classification number: C01B21/0605 ,  C01P2002/72 ,  C01P2004/03 ,  C01P2004/04 ,  C01P2004/42 ,  C01P2004/61 ,  C01P2004/62

Abstract: 本发明属于纳米薄膜制备技术领域，具体为一种等离子体溅射反应沉积制备氮化碳纳米锥的方法。本方法利用一台辉光放电装置来分解前驱气体甲烷、氮气和氢气,出射等离子体由高密度的碳氢活性基团，碳氮活性基团，氮气分子，氮气分子离子，氢原子和碳二分子构成。制备过程包括：采用脉冲激光沉积方法，在光滑衬底材料表面沉积镍膜；采用等离子体溅射反应沉积方法，利用辉光放电装置，将覆盖镍膜的衬底转移到放电室中；将甲烷/氮氢气混合气体通入放电室，启动辉光放电,通过调节放电电流与放电电压，控制沉积g-C3N4纳米锥的锐度。合成的纳米锥由垂直基底的底部直径为200-1000纳米，长径比2:1-5:1的纳米级锥尖阵列构成，锥体主要是石墨相C3N4结构。