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公开(公告)号:CN1034883C
公开(公告)日:1997-05-14
申请号:CN93112366.6
申请日:1993-03-12
Applicant: 复旦大学
IPC: G01J3/447
Abstract: 传统模式下的椭圆偏振光谱仪的设计方法均采用单只起偏器,且仅由检偏器作连续转动。本发明采用二个起偏器,其中一个起偏器固定,而检偏器和第二个起偏器采用2∶1系数同步转动,使得由探测器得到的信号为I=I0+I1cosω0t+I2cos2ω0t+I3cos3ω0t+I4cos4ω0t通过富利埃变换检测上式中4个交流成分,即可自洽求出完整的椭偏参数。采用本发明制造的椭圆偏振光谱仪,测量过程简单,数据精度高,自我定标方便,具有准确、灵敏和实时快速的优点。
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公开(公告)号:CN1076275A
公开(公告)日:1993-09-15
申请号:CN93112366.6
申请日:1993-03-12
Applicant: 复旦大学
IPC: G01J3/447
Abstract: 传统模式下的椭圆偏振光谱仪的设计方法均采用单只起偏器,且仅由检偏器作连续转动。本发明采用二个起偏器,其中一个起偏器固定,而检偏器和第二个起偏器采用2∶1系数同步转动,使得由探测器得到的信号为:I=I0+I1cosω0t+I2cos2ω0t+I3cos3ω0t+I4cos4ω0t通过富利埃变换检测上式中4个交流成分,即可自洽求出完整的椭偏参数。采用本发明制造的椭圆偏振光谱仪,测量过程简单,数据精度高,自我定标方便,具有准确、灵敏和实时快速的优点。
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