公开(公告)号：CN118321107A

公开(公告)日：2024-07-12

申请号：CN202410606089.X

申请日：2024-05-15

Applicant: 复旦大学

Inventor： 解凤贤 ,  汪孔祥 ,  张研 ,  段仲韬 ,  王婧 ,  刘思宇 ,  刘鸿 ,  关翔 ,  刘若辰 ,  苏钰 ,  黄国平

IPC: B05C11/08 ,  B05D3/04

Abstract: 本发明涉及匀胶机技术领域，具体公开了一种氛围可控的旋涂匀胶机，包括匀胶机主体机构，压力控制机构，氛围气体调节组件，温度控制组件。本发明中，通过气氛调节机构精确调节气氛组分，由温度控制机构调节混合气体温度，同时均匀控制旋涂腔体内部温度；通过压力控制机构调节匀胶机腔体内部压力，通过气体阀门管路调控旋涂台表面气体流动速度。通过多组件协同作业，精确控制前驱体溶液在旋涂过程中的旋涂氛围、温度与压力。根据结晶动力学调整溶剂挥发速率，调控结晶的过程，实现高质量成膜；气体管路出口在腔体内均匀分布，通过调整气体出口速率，保证薄膜在结晶过程中处于最佳氛围状态。