公开(公告)号：CN112103636A

公开(公告)日：2020-12-18

申请号：CN202010811184.5

申请日：2020-08-13

Applicant: 复旦大学

Inventor： 刘盼 ,  伊菲珍妮亚·扎哈瑞欧 ,  汉克·凡·扎尔 ,  张国旗 ,  张靖 ,  樊嘉杰 ,  李梁涛

IPC: H01Q1/38 ,  C23C14/20 ,  C23C14/24 ,  C23F1/02 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明属于柔性基板技术领域，具体为一种在聚酰亚胺薄膜上实现微纳图形化处理的方法。具体步骤如下：（1）先将聚碳酸亚丙酯PPC材料旋涂在硅片上，然后将聚酰亚胺薄膜贴合在硅片上面；（2）使用蒸发工艺沉积铝层；（3）旋涂正性光刻胶层；（4）在紫外线照射的作用下，用掩膜版对光刻胶涂层进行选择性曝光，再进行软烘干；（5）用刻蚀剂对光刻胶进行化学刻蚀；（6）使用干法蚀刻和湿法蚀刻刻蚀掉暴露在外面的铝层，保留被光刻胶覆盖的铝层；（7）剥离光刻胶；（8）加热分离得到聚酰亚胺薄膜。本发明用PPC粘合聚酰亚胺薄膜进行图像化处理，方法简单，效果优异，可制造出能够工作在60GHz频率下的柔性天线。