化学放大型光致抗蚀剂组合物及其使用方法

    公开(公告)号:CN102472971B

    公开(公告)日:2016-12-07

    申请号:CN201080036675.1

    申请日:2010-08-03

    Abstract: 光致抗蚀剂组合物包含酚醛聚合物与无含醚部分和/或含羧酸部分的(甲基)丙烯酸酯基共聚物的掺合物及光酸产生剂。该(甲基)丙烯酸酯共聚物包含第一单体,其选自由以下各物组成的组:丙烯酸烷基酯、取代的丙烯酸烷基酯、(甲基)丙烯酸烷基酯、取代的甲基丙烯酸烷基酯及其混合物;和第二单体,其选自由以下各物组成的组:丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸酯或其混合物,该第二单体具有酸可裂解的酯取代基。本文也公开利用该光致抗蚀剂组合物在基板上生成光致抗蚀剂图像的方法。

    创伤敷料及其制备方法
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103768640B

    公开(公告)日:2016-07-06

    申请号:CN201310486619.3

    申请日:2013-10-17

    CPC classification number: A61L31/04 A61L15/225

    Abstract: 本文描述了一种创伤敷料以及制备创伤敷料的方法。该创伤敷料由吸收性基材(由一层或多层形成)和设置在基材上的低粘附层形成。低粘附层可以设置在至少一部分基材之内。低粘附层由至少一种高度氟化聚合物和至少一种酸性聚合物的混合物形成。所述的至少一种高度氟化聚合物具有的氟含量高于所述的至少一种酸性聚合物的氟含量。

    创伤敷料及其制备方法
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103768640A

    公开(公告)日:2014-05-07

    申请号:CN201310486619.3

    申请日:2013-10-17

    CPC classification number: A61L31/04 A61L15/225

    Abstract: 本文描述了一种创伤敷料以及制备创伤敷料的方法。该创伤敷料由吸收性基材(由一层或多层形成)和设置在基材上的低粘附层形成。低粘附层可以设置在至少一部分基材之内。低粘附层由至少一种高度氟化聚合物和至少一种酸性聚合物的混合物形成。所述的至少一种高度氟化聚合物具有的氟含量高于所述的至少一种酸性聚合物的氟含量。

    低活化能含硅抗蚀剂体系

    公开(公告)号:CN100561337C

    公开(公告)日:2009-11-18

    申请号:CN200480031181.9

    申请日:2004-10-22

    CPC classification number: G03F7/0757 G03F7/0045 G03F7/0046

    Abstract: 本发明提供了倍半硅氧烷聚合物、含有所述倍半硅氧烷聚合物的抗蚀剂组合物,其中至少部分倍半硅氧烷聚合物含有氟化残基并且至少部分倍半硅氧烷聚合物含有对于酸催化断裂而言具有低活化能的作为侧基的抑制溶解度的酸不稳定残基,并且使高光学密度的存在最小化或得以避免。本发明的聚合物还含有提高抗蚀剂在碱性水溶液中的碱溶解度的作为侧基的极性残基。本发明的聚合物特别可用于正性抗蚀剂组合物。本发明包括将所述抗蚀剂组合物用于在基材上形成图案结构的方法,特别是多层(例如双层)光刻法,所述光刻法能够在波长为例如193nm和157nm下生产高分辨率的图像。

    低活化能含硅抗蚀剂体系

    公开(公告)号:CN1871550A

    公开(公告)日:2006-11-29

    申请号:CN200480031181.9

    申请日:2004-10-22

    CPC classification number: G03F7/0757 G03F7/0045 G03F7/0046

    Abstract: 本发明提供了倍半硅氧烷聚合物、含有所述倍半硅氧烷聚合物的抗蚀剂组合物,其中至少部分倍半硅氧烷聚合物含有氟化残基并且至少部分倍半硅氧烷聚合物含有对于酸催化断裂而言具有低活化能的作为侧基的抑制溶解度的酸不稳定残基,并且使高光学密度的存在最小化或得以避免。本发明的聚合物还含有提高抗蚀剂在碱性水溶液中的碱溶解度的作为侧基的极性残基。本发明的聚合物特别可用于正性抗蚀剂组合物。本发明包括将所述抗蚀剂组合物用于在基材上形成图案结构的方法,特别是多层(例如双层)光刻法,所述光刻法能够在波长为例如193nm和157nm下生产高分辨率的图像。

    从聚酯-棉织物和/或纤维回收棉的再循环方法

    公开(公告)号:CN116635363A

    公开(公告)日:2023-08-22

    申请号:CN202180080917.5

    申请日:2021-11-25

    Abstract: 由含有聚酯和棉的织物和/或纤维通过使织物和/或纤维与胺有机基催化剂和/或其羧酸盐和醇溶剂反应而获得不含聚酯的棉。可间歇或作为连续流动工艺进行的反应回收:(i)作为反应的固体惰性副产物的不含聚酯的棉,(ii)胺有机基催化剂和/或其羧酸盐以再利用,(iii)聚酯单体产物和(iv)未反应的醇。该反应对任何聚酯‑棉织物和/或纤维有用,其中包括具有至少一种另外的材料例如聚醚、聚烯烃、聚氨酯、尼龙、人造丝、乙酸酯、粘胶、莫代尔、丙烯酸类、羊毛、及其组合的那些。

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