公开(公告)号：CN103985640A

公开(公告)日：2014-08-13

申请号：CN201410046666.0

申请日：2014-02-10

Applicant: 国际商业机器公司

Inventor： G·N·比格斯 ,  R·A·巴德 ,  B·V·法萨诺 ,  J·J·格兰特 ,  P·A·格鲁伯尔 ,  J·P·卡里迪斯 ,  B·W·利恩斯特拉 ,  P·W·帕尔马蒂尔 ,  K·M·普雷蒂曼 ,  C·L·泰斯勒 ,  T·维斯

IPC: H01L21/48

CPC classification number: B23K3/0607 ,  B23K3/0638

Abstract: 本发明涉及一种填充头设备，包括：用于保持流体的至少一个腔室。所述腔室具有用于排出流体的出口。一种真空装置，其具有用于与流体出口相邻的抽吸装置的入口。多个柔性且弹性的密封装置与工件的顶面接触。密封装置定位于腔室出口的相对侧和真空装置入口的相对侧，使得所述密封装置在由工件限定的空腔周围产生至少部分的密封，该空腔位于腔室出口和真空出口两者的下方。