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公开(公告)号:CN101160667A
公开(公告)日:2008-04-09
申请号:CN200680011974.3
申请日:2006-03-27
Applicant: 国际商业机器公司
IPC: H01L29/94
CPC classification number: H01L27/1104 , G11C11/412 , H01L21/84 , H01L27/11 , H01L27/1203 , H01L27/1207
Abstract: 本发明提供一种6T-SRAM半导体结构,包括:具有SOI区域和块Si区域的衬底,其中SOI区域和块Si区域具有相同或者不同的晶体取向;将SOI区域与块Si区域分离的隔离区域;以及位于SOI区域中的至少一个第一器件和位于块Si区域中的至少一个第二器件。SOI区域具有在绝缘层之上的硅层。块Si区域还包括在第二器件下方的阱区域和到阱区域的接触,其中该接触稳定浮体效应。阱接触也用来控制块Si区域中FET的阈值电压以优化从SOI和块Si区域FET的组合中构建的SRAM单元的功率和性能。
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公开(公告)号:CN101160667B
公开(公告)日:2010-06-16
申请号:CN200680011974.3
申请日:2006-03-27
Applicant: 国际商业机器公司
IPC: H01L29/94
CPC classification number: H01L27/1104 , G11C11/412 , H01L21/84 , H01L27/11 , H01L27/1203 , H01L27/1207
Abstract: 本发明提供一种6T-SRAM半导体结构,包括:具有SOI区域和块Si区域的衬底,其中SOI区域和块Si区域具有相同或者不同的晶体取向;将SOI区域与块Si区域分离的隔离区域;以及位于SOI区域中的至少一个第一器件和位于块Si区域中的至少一个第二器件。SOI区域具有在绝缘层之上的硅层。块Si区域还包括在第二器件下方的阱区域和到阱区域的接触,其中该接触稳定浮体效应。阱接触也用来控制块Si区域中FET的阈值电压以优化从SOI和块Si区域FET的组合中构建的SRAM单元的功率和性能。
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