用于受控层传送的方法

    公开(公告)号:CN102832115A

    公开(公告)日:2012-12-19

    申请号:CN201210196194.8

    申请日:2012-06-14

    CPC classification number: H01L21/304 H01L31/1896 Y02E10/50 Y02P80/30

    Abstract: 本发明涉及受控层传送的方法。该方法包括向基底基板提供应激层。应激层具有位于基底基板的上表面上面的应激层部分和位于与基底基板的各侧壁边缘相邻的自钉扎应激层部分。然后,在基底基板的应激层部分上面施加散裂抑制体,然后,从应激层部分去耦合应激层的自钉扎应激层部分。然后从原始的基底基板散裂位于应激层部分下面的基底基板的一部分。散裂包含从应激层部分上面位移散裂抑制体。在散裂之后,从基底基板的散裂部分上面去除应激层部分。

    用于受控层传送的方法

    公开(公告)号:CN102832115B

    公开(公告)日:2015-02-18

    申请号:CN201210196194.8

    申请日:2012-06-14

    CPC classification number: H01L21/304 H01L31/1896 Y02E10/50 Y02P80/30

    Abstract: 本发明涉及受控层传送的方法。该方法包括向基底基板提供应激层。应激层具有位于基底基板的上表面上面的应激层部分和位于与基底基板的各侧壁边缘相邻的自钉扎应激层部分。然后,在基底基板的应激层部分上面施加散裂抑制体,然后,从应激层部分去耦合应激层的自钉扎应激层部分。然后从原始的基底基板散裂位于应激层部分下面的基底基板的一部分。散裂包含从应激层部分上面位移散裂抑制体。在散裂之后,从基底基板的散裂部分上面去除应激层部分。

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