公开(公告)号：CN101061059B

公开(公告)日：2012-08-29

申请号：CN200580039812.6

申请日：2005-11-22

Applicant: 国立大学法人香川大学 ,  青井电子株式会社

Inventor： 桥口原 ,  细木真保 ,  今野隆

IPC: B82B1/00 ,  B82B3/00 ,  B81B3/00 ,  G01B21/30 ,  G01N13/16

CPC classification number: B81C99/002 ,  G01Q60/38 ,  G01Q80/00 ,  Y10S977/902 ,  Y10S977/962

Abstract: 根据本发明的纳米镊子(1)包含：支撑元件(25)；从所述支撑元件(25)向外突出，并且当观察样片的表面时被使用的观察探针(10)；可动臂(20)，该可动臂临近从所述支撑元件(25)向外突出的观察探针(10)设置，并且使所述观察探针(10)和所述可动臂(20)之间关闭或者打开，从而夹持或者释放被夹持在所述观察探针(10)和所述可动臂(20)之间的样品；以及驱动机构，该驱动机构驱动所述可动臂(20)，从而使所述观察探针(10)和所述可动臂(20)之间关闭或者打开，并且，所述支撑元件(25)、所述观察探针(10)和所述可动臂中(20)都通过照相平版印刷术过程处理半导体晶片(30)来形成。

公开(公告)号：CN101061059A

公开(公告)日：2007-10-24

申请号：CN200580039812.6

申请日：2005-11-22

Applicant: 国立大学法人香川大学 ,  青井电子株式会社

Inventor： 桥口原 ,  细木真保 ,  今野隆

IPC: B82B1/00 ,  B82B3/00 ,  B81B3/00 ,  G01B21/30 ,  G01N13/16

CPC classification number: B81C99/002 ,  G01Q60/38 ,  G01Q80/00 ,  Y10S977/902 ,  Y10S977/962

Abstract: 根据本发明的纳米镊子(1)包含：支撑元件(25)；从所述支撑元件(25)向外突出，并且当观察样片的表面时被使用的观察探针(10)；可动臂(20)，该可动臂临近从所述支撑元件(25)向外突出的观察探针(10)设置，并且使所述观察探针(10)和所述可动臂(20)之间关闭或者打开，从而夹持或者释放被夹持在所述观察探针(10)和所述可动臂(20)之间的样品；以及驱动机构，该驱动机构驱动所述可动臂(20)，从而使所述观察探针(10)和所述可动臂(20)之间关闭或者打开，并且，所述支撑元件(25)、所述观察探针(10)和所述可动臂中(20)都通过照相平版印刷术过程处理半导体晶片(30)来形成。