公开(公告)号：CN105844593A

公开(公告)日：2016-08-10

申请号：CN201610047496.7

申请日：2016-01-25

Applicant: 哈尔滨理工大学

Inventor： 于雪莲 ,  马文书 ,  赵文彬 ,  王伟佳 ,  周坤 ,  张嘉成 ,  唐晓慧 ,  滕飞

IPC: G06T5/00

CPC classification number: G06T5/002 ,  G06T5/005 ,  G06T2207/20032

Abstract: 本发明针对干涉图像的预处理，通过改进的去噪方法、二值化算法、细化及修补算法，提出一种单幅干涉圆条纹图像预处理的自动化处理方法。本发明利用在P?M模型上引入扩散系数，修改中值滤波窗口，然后采用加权方式将两者结合形成去噪方法，该方法对图像边缘和细节保护明显。本发明采用的细化修补算法不但可以去除图像中的毛刺，而且在保证图像连通性的前提下去除多余二像素，从而使图像细化成单像素图像。本发明对单幅干涉圆条纹进行特征信息提取具有重要意义，可为基于单幅干涉圆条纹分析的光学测量技术的应用提供可靠地分析方法。

公开(公告)号：CN105844593B

公开(公告)日：2019-01-18

申请号：CN201610047496.7

申请日：2016-01-25

Applicant: 哈尔滨理工大学

Inventor： 于雪莲 ,  马文书 ,  赵文彬 ,  王伟佳 ,  周坤 ,  张嘉成 ,  唐晓慧 ,  滕飞

IPC: G06T5/00

Abstract: 本发明针对干涉图像的预处理，通过改进的去噪方法、二值化算法、细化及修补算法，提出一种单幅干涉圆条纹图像预处理的自动化处理方法。本发明利用在P‑M模型上引入扩散系数，修改中值滤波窗口，然后采用加权方式将两者结合形成去噪方法，该方法对图像边缘和细节保护明显。本发明采用的细化修补算法不但可以去除图像中的毛刺，而且在保证图像连通性的前提下去除多余二像素，从而使图像细化成单像素图像。本发明对单幅干涉圆条纹进行特征信息提取具有重要意义，可为基于单幅干涉圆条纹分析的光学测量技术的应用提供可靠地分析方法。

公开(公告)号：CN205537546U

公开(公告)日：2016-08-31

申请号：CN201521006469.2

申请日：2015-12-08

Applicant: 哈尔滨理工大学

Inventor： 于雪莲 ,  马文书 ,  唐晓慧 ,  周坤 ,  赵文彬 ,  张嘉成 ,  滕飞

IPC: G01B11/30 ,  G01N21/88

Abstract: 基于PSD和楔形平晶微分干涉法的晶圆表面检测装置，属于光学检测领域，本实用新型为解决现有精密晶圆检测仪器精度不够高、检测步骤繁琐、耗时的问题。本实用新型是激光通过空间滤波器、会聚透镜、偏振片入射至分束器分为垂直方向的光和水平方向的光：垂直方向的光通过反射镜、会聚透镜入射至晶圆样品，反射光通过1/4波片、楔形平晶光被PSD1、PSD2接收；水平方向的光入射至分束器分为垂直S光和水平P光：垂直S光通过楔形平晶、显微物镜，入射至晶圆样品表面反射，反射光通过显微物镜、楔形平晶，入射至分束器分为垂直S光和水平P光：垂直S光通过1/4波片、检偏器、滤光器被CMOS图像传感器接收。用于检测晶圆表面缺陷。

公开(公告)号：CN205281520U

公开(公告)日：2016-06-01

申请号：CN201521011862.0

申请日：2015-12-09

Applicant: 哈尔滨理工大学

Inventor： 于雪莲 ,  周坤 ,  赵文彬 ,  马文书 ,  唐晓慧 ,  张嘉成 ,  滕飞

IPC: G06K9/00

Abstract: 基于楔形导光板的傅里叶变换联合相关指纹识别装置，涉及利用基于楔形导光板的傅里叶变换联合相关法进行指纹识别的装置，属于光学检测领域，本实用新型为解决现有光学指纹识别系统精度较低，速度较慢等问题。本实用新型包括He-Ne激光器、针孔滤波器、第一五比五分光镜、第二五比五分光镜、第一反光镜、第二反光镜、第一扩束镜、第二扩束镜、楔形导光板、起偏器、液晶光阀、检偏器、傅里叶透镜、干板、电荷耦合阵列检测器和计算机。本实用新型用于实时的指纹识别。