公开(公告)号：CN113739708A

公开(公告)日：2021-12-03

申请号：CN202110959032.4

申请日：2021-08-20

Applicant: 哈尔滨工程大学

Inventor： 朱云龙 ,  钱彦宇 ,  卢旭 ,  苑勇贵 ,  党凡阳 ,  林蹉富 ,  张翔 ,  祝海波 ,  赵轩

IPC: G01B11/06 ,  G01B11/24 ,  G01B9/02

Abstract: 本发明公开了一种双路白光干涉差动测量装置及方法，包括宽谱光源模块、第一光程调制与解调模块和双路差动光强检测与记录模块；宽谱光源模块提供输入光信号；第一光程调制与解调模块接收输入光信号，利用白光干涉原理及双路差动探测原理，采用构建光程差的方法提供两路白光干涉信号并转换为电信号；双路差动光强检测与记录模块接收两路电信号，经差动探测后得到差动响应信号，根据差动响应信号得到绝对参考位置和测量位置。本发明定位精度高、灵敏度高、信号解调便捷，可广泛应用于微纳器件厚度及表面形貌等信息的定量测量。

公开(公告)号：CN116202744A

公开(公告)日：2023-06-02

申请号：CN202310249907.0

申请日：2023-03-15

Applicant: 哈尔滨工程大学

Inventor： 杨军 ,  钱彦宇 ,  苑勇贵 ,  朱云龙 ,  党凡阳 ,  张翔 ,  祝海波 ,  杨木森

IPC: G01M11/02

Abstract: 本发明公开了一种超宽光谱范围分布式光学偏振串音的测量装置，所述测量装置包括超宽波段光源模块、光程调制与解调模块、信号检测与处理模块和待测器件，其中：超宽波段光源模块提供具有不同中心波长的输入光信号，它们从待测器件的两端分别注入，并从待测器件出射，经过超宽波段光源模块后被光程调制与解调模块所接收；基于白光干涉测量原理，通过调节光程调制与解调模块的光程差，同时获得超宽波段白光干涉信号，并将其转换为电信号；信号检测与处理模块根据电信号计算得到与超宽波段光源模块相对应的待测器件的超宽波段偏振特性。该装置能够有效拓宽光学器件分布式偏振串音的测量波长范围，有效提高测量效率，降低测量装置成本。

公开(公告)号：CN113739708B

公开(公告)日：2022-07-15

申请号：CN202110959032.4

申请日：2021-08-20

Applicant: 哈尔滨工程大学

Inventor： 朱云龙 ,  钱彦宇 ,  卢旭 ,  苑勇贵 ,  党凡阳 ,  林蹉富 ,  张翔 ,  祝海波 ,  赵轩

IPC: G01B11/06 ,  G01B11/24 ,  G01B9/02018

Abstract: 本发明公开了一种双路白光干涉差动测量装置及方法，包括宽谱光源模块、第一光程调制与解调模块和双路差动光强检测与记录模块；宽谱光源模块提供输入光信号；第一光程调制与解调模块接收输入光信号，利用白光干涉原理及双路差动探测原理，采用构建光程差的方法提供两路白光干涉信号并转换为电信号；双路差动光强检测与记录模块接收两路电信号，经差动探测后得到差动响应信号，根据差动响应信号得到绝对参考位置和测量位置。本发明定位精度高、灵敏度高、信号解调便捷，可广泛应用于微纳器件厚度及表面形貌等信息的定量测量。