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公开(公告)号：CN118392237A
公开(公告)日：2024-07-26
申请号：CN202410342503.0
申请日：2024-03-25
Applicant: 哈尔滨工程大学
IPC: G01D21/02
Abstract: 一种声压温度双参量光纤传感器，涉及测量领域，具体涉及光纤传感技术领域。解决海洋环境下温度声压不能快速原位同步测量的问题。所述传感器包括：单模光纤、玻璃准直套管、膜片支撑结构、声压敏感膜片和温度敏感膜片；所述玻璃准直套管、膜片支撑结构、声压敏感膜片和温度敏感膜片同轴设置；所述声压敏感膜片与所述膜片支撑结构、玻璃准直套管、单模光纤之间构成空气腔；所述声压敏感膜片通过刻蚀工艺制作所述温度敏感膜片，构成硅腔。本发明在光纤传感器研究中能够较好地弥补目前海洋环境下光纤传感器的不足。
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