公开(公告)号：CN107196439B

公开(公告)日：2019-09-27

申请号：CN201710324840.7

申请日：2017-05-10

Applicant: 哈尔滨工程大学

Inventor： 李立 ,  祝贝贝 ,  张斌 ,  田凤军 ,  王世杰

IPC: H02K5/04 ,  H02K7/10 ,  H02K15/00

Abstract: 本发明涉及一种基于MEMS工艺的微波驱动新型微马达，属于微机电系统与电机工程领域，其包括：定子(1)、转子(2)、驱动轴(3)、第一轴承(4)、第二轴承(5)、机壳(6)、微波源(7)及固定结构(8)。固定结构(8)与机壳(6)成一体化结构；转子(2)与驱动轴(3)为一体化结构，由固定结构(8)提供支撑横向固定于机壳(6)中；驱动轴(3)中间部位有一凹槽，定子(1)置于驱动轴(3)的凹槽内，转子(2)与第二轴承(5)相联接。定子(1)与转子(2)均为圆柱形的结构，两者都由PN结环形阵列结构构成，通过微波源(7)调制两者之间的静电力驱动转子(2)产生持续振动。

公开(公告)号：CN107196439A

公开(公告)日：2017-09-22

申请号：CN201710324840.7

申请日：2017-05-10

Applicant: 哈尔滨工程大学

Inventor： 李立 ,  祝贝贝 ,  张斌 ,  田凤军 ,  王世杰

IPC: H02K5/04 ,  H02K7/10 ,  H02K15/00

Abstract: 本发明涉及一种基于MEMS工艺的微波驱动新型微马达，属于微机电系统与电机工程领域，其包括：定子(1)、转子(2)、驱动轴(3)、第一轴承(4)、第二轴承(5)、机壳(6)、微波源(7)及固定结构(8)。固定结构(8)与机壳(6)成一体化结构；转子(2)与驱动轴(3)为一体化结构，由固定结构(8)提供支撑横向固定于机壳(6)中；驱动轴(3)中间部位有一凹槽，定子(1)置于驱动轴(3)的凹槽内，转子(2)与第二轴承(5)相联接。定子(1)与转子(2)均为圆柱形的结构，两者都由PN结环形阵列结构构成，通过微波源(7)调制两者之间的静电力驱动转子(2)产生持续振动。