一种适用于深水工作的超低频、高声源级声源系统及其工作方法

    公开(公告)号:CN115902848A

    公开(公告)日:2023-04-04

    申请号:CN202111209214.6

    申请日:2021-10-18

    Abstract: 本发明公开了一种适用于深水工作的超低频、高声源级声源系统及其工作方法。所述声源系统包括电机驱动分系统、电机控制分系统、声辐射分系统、气动平衡声补偿分系统、声与环境测量分系统和主控台与供电分系统;所述电机驱动分系统分别与电机控制分系统和声辐射分系统相连接,所述声辐射分系统与气动平衡声补偿分系统相连接,所述气动平衡声补偿分系统与主控台与供电分系统相连接,所述主控台与供电分系统分别与声与环境测量分系统与电机控制分系统相连接。本发明针对现在低频或超低频辐射时厘米级大振幅的实现问题以及深水静压带来的声补偿难题。

    一种水听器离散梁膜融合声敏感芯片的过载或干扰信号释放及离散电容的增敏设计方法

    公开(公告)号:CN115900924A

    公开(公告)日:2023-04-04

    申请号:CN202111478354.3

    申请日:2021-12-06

    Abstract: 本发明公开了一种水听器离散梁膜融合声敏感芯片的过载或干扰信号释放及离散电容的增敏设计方法。在C形硅杯基座上制作的平膜分为多个子梁膜,多个子梁膜组成圆形平膜,每个子梁膜之间存在微米级间隙;每个子梁膜上制作有压电敏感膜及检测电容电极,每个子梁膜上的检测电容通过串联的方式连接。本发明用以解决如何在MEMS敏感结构有限尺寸之内实现传感器敏感芯片原始灵敏度增强,同时提高传感器抗过载能力,增强环境适应性;水听器离散梁膜融合声敏感芯片用于敏感水下声压等信号,制作声压水听器,也可以利用此芯片设计制作位移、压差、流量、流速、质点振动传感器以及空气介质中的相应参数的传感器。

    一种具有N个频率梳齿的谐振响应MEMS集成声压/振速敏感芯片

    公开(公告)号:CN117664314A

    公开(公告)日:2024-03-08

    申请号:CN202211004953.6

    申请日:2022-08-22

    Abstract: 本发明属于传感器技术领域,公开了一种具有N个频率梳齿的谐振响应MEMS集成声压/振速敏感芯片及其工作方法。所述框架基座(1)上设置N个频率梳齿单元(2),所述N个频率梳齿单元(2)之间以及N个频率梳齿单元(2)与框架基座(1)之间设有间隙(3);所述频率梳齿单元(2)包括力学敏感结构(2‑A)和力电转换敏感结构(2‑B),所述力学敏感结构(2‑A)上设置力电转换敏感结构(2‑B)。采用此频率梳芯片即可以实现谐振频率点附近窄带特征信号的高灵敏检测,还能够实现基于多个特征信息联合的声源的稳健传感检测,并实现声源特征信息的识别。

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