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公开(公告)号：CN107623459B
公开(公告)日：2019-04-23
申请号：CN201710801536.7
申请日：2017-09-07
Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院
IPC: H02N1/04
Abstract: 本发明属于材料的微观表面处理领域，具体涉及一种用于摩擦纳米发电机摩擦材料表面粗糙化的契合结构及其制备方法，所述方法利用简易砂纸模板，将PDMS旋涂到砂纸粗糙表面，剥离后制得带有与砂纸形貌互补图案表面的PDMS薄膜；另一方面将厚度较小的铜膜通过热蒸发镀膜的方法直接蒸镀到砂纸表面，从而制备出复刻有砂纸形貌的表面粗糙的铜摩擦材料。采用本发明所制备摩擦纳米发电机用的正/负电两个摩擦层材料，具有与砂纸形貌互补图案的表面；另具有砂纸形貌图案的表面。更重要的是，采用相同规格的模板制备，表面形貌图案的尺寸大小几乎完全相同，并且形状互补能够完全契合，使得摩擦过程中的实际接触面积更大。
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公开(公告)号：CN102403420B
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201110356968.4
申请日：2011-11-11
Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院
IPC: H01L33/00
Abstract: 本发明涉及一种用于氮化物处延生长的图形化蓝宝石衬底的制备方法，本发明方法先在蓝宝石基片上磁控溅射一层铝膜，然后施涂两层光刻胶膜且下层光刻胶具有更好的光敏感性，经曝光、显影形成光刻胶图形，再磁控溅射第二层铝膜，经溶剂浸泡剥离外层铝膜，最后经低温、高温两步热处理形成具有单晶氧化铝膜的图形化蓝宝石衬底。本发明的制备方法工艺简单易行，即克服了干法刻蚀方法易污染、损伤衬底的问题，也克服了湿法刻蚀方法易造成图形失真的问题。
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公开(公告)号：CN103325888B
公开(公告)日：2017-02-08
申请号：CN201310249995.0
申请日：2013-06-21
Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院
IPC: H01L31/20
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明提供一种基于硅基薄膜衬底制备透明导电薄膜的方法，包括以下几个步骤：步骤A、将靶材装入溅射靶中，将基片洗净后放入基片架上，抽真空，使基片能随基片架在溅射靶材上方直线往复动态沉积，获得薄膜；步骤B、将所述基片加热，并于真空室内通入溅射气体，调节真空室压强。本发明可以通过磁控溅射法在硅基薄膜衬底上低温、低功率制备高质量的透明导电膜。
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公开(公告)号：CN104710982A
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201510115144.6
申请日：2015-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院
IPC: C09K11/64
Abstract: 本发明提供了一种稀土离子共掺杂的铝硅酸盐(莫来石基质)新型绿光荧光粉及其制备方法，属于发光材料技术领域。新型绿光荧光粉化学组成为aAl2O3﹒bSiO2﹒cCeO2﹒dTb4O7，其中a,b,c,d为摩尔分数，a/b＝3/2，0≤c≤2.0％，0≤d≤5.0％，c和d不同时为零。制备方法具体实施步骤为：按化学式中各元素的化学计量比称取原料，充分混合，并在室温下球磨；将球磨充分的样品放入通有还原性气氛的高温管式炉中，在1450～1550℃下煅烧2～6小时；待炉腔冷却至室温，取出样品进行破碎研磨；后续可添加H3BO3助熔剂、水洗或/和SiO2包覆等处理，即可获得所需荧光粉。本发明制备的荧光粉，其结晶性和颗粒表面形貌良好，发光强度高(尤其有优异的热稳定性)，适于用作紫外光激发的LED用绿光荧光粉。
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公开(公告)号：CN103325888A
公开(公告)日：2013-09-25
申请号：CN201310249995.0
申请日：2013-06-21
Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院
IPC: H01L31/20
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明提供一种基于硅基薄膜衬底制备透明导电薄膜的方法，包括以下几个步骤：步骤A、将靶材装入溅射靶中，将基片洗净后放入基片架上，抽真空，使基片能随基片架在溅射靶材上方直线往复动态沉积，获得薄膜；步骤B、将所述基片加热，并于真空室内通入溅射气体，调节真空室压强。本发明可以通过磁控溅射法在硅基薄膜衬底上低温、低功率制备高质量的透明导电膜。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102403420A
公开(公告)日：2012-04-04
申请号：CN201110356968.4
申请日：2011-11-11
Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院
IPC: H01L33/00
Abstract: 本发明涉及一种用于氮化物处延生长的图形化蓝宝石衬底的制备方法，本发明方法先在蓝宝石基片上磁控溅射一层铝膜，然后施涂两层光刻胶膜且下层光刻胶具有更好的光敏感性，经曝光、显影形成光刻胶图形，再磁控溅射第二层铝膜，经溶剂浸泡剥离外层铝膜，最后经低温、高温两步热处理形成具有单晶氧化铝膜的图形化蓝宝石衬底。本发明的制备方法工艺简单易行，即克服了干法刻蚀方法易污染、损伤衬底的问题，也克服了湿法刻蚀方法易造成图形失真的问题。
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公开(公告)号：CN103287010B
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201310031456.X
申请日：2013-01-28
Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院
Abstract: 本发明提供一种蓝宝石红外窗口用氧化钇/二氧化硅增透保护膜，包括依次沉积的氧化钇层和二氧化硅层，所述氧化钇层的厚度为200~750nm，所述二氧化硅层的厚度为600~900nm。本发明提供的蓝宝石红外窗口用氧化钇/二氧化硅增透保护膜，在提高蓝宝石高温强度和红外透波率的同时，尤其可以改善增透保护膜的附着性能，从而解决了蓝宝石红外窗口在高温、高压等恶劣工作环境常出现的热开裂、热畸变和保护膜脱落等问题。
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公开(公告)号：CN103287010A
公开(公告)日：2013-09-11
申请号：CN201310031456.X
申请日：2013-01-28
Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院
Abstract: 本发明提供一种蓝宝石红外窗口用氧化钇/二氧化硅增透保护膜，包括依次沉积的氧化钇层和二氧化硅层，所述氧化钇层的厚度为200~750nm，所述二氧化硅层的厚度为600~900nm。本发明提供的蓝宝石红外窗口用氧化钇/二氧化硅增透保护膜，在提高蓝宝石高温强度和红外透波率的同时，尤其可以改善增透保护膜的附着性能，从而解决了蓝宝石红外窗口在高温、高压等恶劣工作环境常出现的热开裂、热畸变和保护膜脱落等问题。
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公开(公告)号：CN107623459A
公开(公告)日：2018-01-23
申请号：CN201710801536.7
申请日：2017-09-07
Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院
IPC: H02N1/04
Abstract: 本发明属于材料的微观表面处理领域，具体涉及一种用于摩擦纳米发电机摩擦材料表面粗糙化的契合结构及其制备方法，所述方法利用简易砂纸模板，将PDMS旋涂到砂纸粗糙表面，剥离后制得带有与砂纸形貌互补图案表面的PDMS薄膜；另一方面将厚度较小的铜膜通过热蒸发镀膜的方法直接蒸镀到砂纸表面，从而制备出复刻有砂纸形貌的表面粗糙的铜摩擦材料。采用本发明所制备摩擦纳米发电机用的正/负电两个摩擦层材料，具有与砂纸形貌互补图案的表面；另具有砂纸形貌图案的表面。更重要的是，采用相同规格的模板制备，表面形貌图案的尺寸大小几乎完全相同，并且形状互补能够完全契合，使得摩擦过程中的实际接触面积更大。
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公开(公告)号：CN104846336B
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201510126108.X
申请日：2015-03-20
Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院
Abstract: 本发明提供了一种蓝宝石表面抗反射微纳结构及其制备方法，该制备方法，包括：在蓝宝石表面制备一层金属铝膜；将所述金属铝膜经两次阳极氧化后形成表面均匀有序多孔的氧化铝薄膜；将所述多孔氧化铝薄膜经两步热处理后形成表面具有孔状微纳结构的蓝宝石。本发明的制备工艺简单，能显著降低制备成本；并且所制备的蓝宝石表面微纳结构，较均匀有序，在可见光或中红外波段具有明显的抗反射增透效果，同时表面自清洁性更佳。
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