公开(公告)号：CN107116019A

公开(公告)日：2017-09-01

申请号：CN201710497477.9

申请日：2017-06-27

Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院

Inventor： 隆志力 ,  刘跃财 ,  赵爽 ,  李祚华

IPC: B06B1/06

CPC classification number: B06B1/0655

Abstract: 本发明公开了一种双频率超声振动加工换能器及其工作模式，其包括工具头、筒夹、变幅杆、压电陶瓷和预紧螺丝组件，变幅杆的前端部设有弹力夹头，工具头插入弹力夹头，筒夹套设在弹力夹头上并使弹力夹头将工具头夹紧；压电陶瓷通过预紧螺丝组件设置在变幅杆的尾端面；本发明的结构设计巧妙，通过合理设定变幅杆和压电陶瓷的长度以及变幅杆的结构形状，使得工具头在双频率下能稳定高效的工作，只需要在驱动器程序软件上进行相应的参数设定，便可以根据不同加工需求来选择低频或高频率的工作模式，从而实现使用合适的频率来进行材料加工，使工作达到理想的加工效果，有效保证加工效果，提升产品质量，灵活性高，适用范围广，利于广泛推广应用。

公开(公告)号：CN106357149A

公开(公告)日：2017-01-25

申请号：CN201610961738.3

申请日：2016-11-04

Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院

Inventor： 隆志力 ,  李祚华 ,  孙文栋 ,  赵爽 ,  张建国

IPC: H02N2/00

CPC classification number: H02N2/00

Abstract: 本发明公开了一种自动阻抗匹配的超声波电路驱动器及其自动动态匹配方法，其包括相互衔接的高速单片机模块、DDS信号生成模块、功率放大模块、阻抗动态匹配模块、信号采集与控制模块和保护电路模块；本发明的设计巧妙、合理，动态匹配模块由一系列的电感器件组成，通过匹配算法控制动态匹配模块的电感，满足系统在电路结构上的谐振，使得电路系统能量的最大输出，达到超声驱动器与换能器的合理匹配。高速单片机模块可实现整个超声驱动器的数字控制，信号生成是采用DDS数字式方法实现正弦波信号的生成，功放放大模块可将驱动电压与电流信号提升到换能器所需要的功率，信号控制模块可实现频率自动跟踪等功能。

公开(公告)号：CN106298598A

公开(公告)日：2017-01-04

申请号：CN201610964417.9

申请日：2016-11-04

Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院

Inventor： 隆志力 ,  李祚华 ,  刘跃财 ,  赵爽 ,  孙文栋

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/60

CPC classification number: H01L21/67138 ,  H01L24/741

Abstract: 本发明公开了一种高强度无偏角的芯片倒装键合换能器，其包括超声变副杆基体、压电陶瓷片堆、预紧锲块、键合工具和安装螺丝，键合工具设置在超声变副杆基体的中心位置，超声变副杆基体两侧位置设有对称设有两安装部，且该安装部位于超声振动的节点位置上；本发明的结构设计巧妙、合理，采用一体化结构并配合对称安装方式，不仅提高了超声变副杆的刚度，使其变形量最小，并实现了左右变形量的一致性，最终满足键合工具处无左右偏角，保证了芯片放置的平整性与水平性；同时采用单边驱动压电陶瓷模式，具有方便可靠等优点；而键合工具采用螺丝紧固联接方式，一方面可以有效地吸附到芯片，另一方面确保气路封闭而不漏气，有效提升工作的稳定性。

公开(公告)号：CN206742196U

公开(公告)日：2017-12-12

申请号：CN201621188663.1

申请日：2016-11-04

Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院

Inventor： 隆志力 ,  李祚华 ,  刘跃财 ,  赵爽 ,  孙文栋

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/60

Abstract: 本实用新型公开了一种高强度无偏角的芯片倒装键合换能器，其包括超声变副杆基体、压电陶瓷片堆、预紧锲块、键合工具和安装螺丝，键合工具设置在超声变副杆基体的中心位置，超声变副杆基体两侧位置设有对称设有两安装部，且该安装部位于超声振动的节点位置上；本实用新型的结构设计巧妙、合理，采用一体化结构并配合对称安装方式，不仅提高了超声变副杆的刚度，使其变形量最小，并实现了左右变形量的一致性，最终满足键合工具处无左右偏角，保证了芯片放置的平整性与水平性；同时采用单边驱动压电陶瓷模式，具有方便可靠等优点；而键合工具采用螺丝紧固联接方式，一方面可以有效地吸附到芯片，另一方面确保气路封闭而不漏气，有效提升工作稳定性。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN206673856U

公开(公告)日：2017-11-24

申请号：CN201621186432.7

申请日：2016-11-04

Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院

Inventor： 隆志力 ,  李祚华 ,  孙文栋 ,  赵爽 ,  张建国

IPC: H02N2/00

Abstract: 本实用新型公开了一种自动阻抗匹配的超声波电路驱动器及其自动动态匹配方法，其包括相互衔接的高速单片机模块、DDS信号生成模块、功率放大模块、阻抗动态匹配模块、信号采集与控制模块和保护电路模块；本实用新型的设计巧妙、合理，动态匹配模块由一系列的电感器件组成，通过匹配算法控制动态匹配模块的电感，满足系统在电路结构上的谐振，使得电路系统能量的最大输出，达到超声驱动器与换能器的合理匹配。高速单片机模块可实现整个超声驱动器的数字控制，信号生成是采用DDS数字式方法实现正弦波信号的生成，功放放大模块可将驱动电压与电流信号提升到换能器所需要的功率，信号控制模块可实现频率自动跟踪等功能。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利