公开(公告)号：CN113019871A

公开(公告)日：2021-06-25

申请号：CN202110247345.7

申请日：2021-03-05

Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)

Inventor： 隆志力 ,  陈子田 ,  赵恒 ,  叶书苑

IPC: B06B1/06 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明公开了一种双向多模态超声键合换能器，其包括劈刀、变幅杆、预压螺钉、第一结构压电陶瓷组、第二结构压电陶瓷组和中间块，中间块的两侧对称设有安装凸缘，整体通过安装凸缘与工作台固定连接，而安装凸缘恰好位于振动节点位置，使得振幅尽可能小，有效减小超声键合换能器向工作台传递的振动，从而减小键合系统工作时产生的噪声，同时也保证超声键合换能器的正常工作；而且工作时，具有三种纵振工作模态和一种弯振工作模态，各工作模态可以分时被单独激发，通过对各模态的综合利用，可以实现比传统超声键合换能器更优的键合质量和更高的键合效率；另外通过梯形限位块能对劈刀进行快速精确限位，给劈刀安装带来方便。

公开(公告)号：CN216396964U

公开(公告)日：2022-04-29

申请号：CN202120481068.1

申请日：2021-03-05

Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)

Inventor： 隆志力 ,  陈子田 ,  赵恒 ,  叶书苑

IPC: B06B1/06 ,  H01L21/67

Abstract: 本实用新型公开了一种双向多模态超声键合换能器，其包括劈刀、变幅杆、预压螺钉、第一结构压电陶瓷组、第二结构压电陶瓷组和中间块，中间块的两侧对称设有安装凸缘，整体通过安装凸缘与工作台固定连接，而安装凸缘恰好位于振动节点位置，使得振幅尽可能小，有效减小超声键合换能器向工作台传递的振动，从而减小键合系统工作时产生的噪声，同时也保证超声键合换能器的正常工作；而且工作时，具有三种纵振工作模态和一种弯振工作模态，各工作模态可以分时被单独激发，通过对各模态的综合利用，可以实现比传统超声键合换能器更优的键合质量和更高的键合效率；另外通过梯形限位块能对劈刀进行快速精确限位，给劈刀安装带来方便。